Abstract
Изучено влияние углового расположения фотошаблона при синтезе круговых оптических шкал, изготовленных с помощью этого фотошаблона способом обратной фотолитографии, на их накопленную угловую погрешность. С помощью фазо-статистического метода исследованы угловые погрешности круговых оптических шкал и определены погрешности, вносимые совместно генератором изображений и операцией экспонирования в угловые погрешности шкалы
| Original language | Russian |
|---|---|
| Pages (from-to) | 72-76 |
| Number of pages | 5 |
| Journal | Оптический журнал |
| Volume | 82 |
| Issue number | 6 |
| Publication status | Published - 2015 |
GRNTI
- 29.31.00
Level of Research Output
- VAK List