ВЛИЯНИЕ УГЛОВОГО РАСПОЛОЖЕНИЯ ФОТОШАБЛОНА ПРИ СИНТЕЗЕ КРУГОВЫХ ОПТИЧЕСКИХ ШКАЛ НА ИХ УГЛОВЫЕ ПОГРЕШНОСТИ

Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

Abstract

Изучено влияние углового расположения фотошаблона при синтезе круговых оптических шкал, изготовленных с помощью этого фотошаблона способом обратной фотолитографии, на их накопленную угловую погрешность. С помощью фазо-статистического метода исследованы угловые погрешности круговых оптических шкал и определены погрешности, вносимые совместно генератором изображений и операцией экспонирования в угловые погрешности шкалы
Original languageRussian
Pages (from-to)72-76
Number of pages5
JournalОптический журнал
Volume82
Issue number6
Publication statusPublished - 2015

GRNTI

  • 29.31.00

Level of Research Output

  • VAK List

Cite this