ВЛИЯНИЕ УЧЕТА ДИФФУЗИОННОЙ ПОЛЯРИЗАЦИИ НА РЕЗУЛЬТАТЫ МОДЕЛИРОВАНИЯ ПРОЦЕССА РОСТА КАТОДНОГО ОСАДКА В ЭЛЕКТРОЛИЗЕРЕ КОАКСИАЛЬНОЙ СИММЕТРИИ: статья в сборнике статей

Антон Игоревич Вахитов, Геннадий Борисович Смирнов, Алексей Андреевич Фокин

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Chapter

1 Book

1 results

2015

ФИЗИКА. ТЕХНОЛОГИИ. ИННОВАЦИИ: сборник научных трудов
Рычков, В. Н. (ed.) & Коллектив авторов, 2015, Екатеринбург: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский федеральный университет им. первого Президента России Б.Н. Ельцина". 358 p.
Research output: Book/Report › Book