Обзор химических реакторов для получения нитрида алюминия субгалогенидным способом из газовой фазы

Роман Александрович Шишкин; Валерия Сергеевна Кудякова

doi:10.31044/1684-5811-2020-21-3-134-144

Обзор химических реакторов для получения нитрида алюминия субгалогенидным способом из газовой фазы

Translated title of the contribution: Review of chemical reactors for production of aluminum nitride by subhalogenide method from gas phase

Роман Александрович Шишкин, Валерия Сергеевна Кудякова

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Abstract

Aluminum nitride is used in many sectors of industry, requiring high thermal conductivity. For production of dispersed aluminum nitride the gas-phase method has been proposed. It consists of a formation reaction of aluminum subgalogenide that is accompanied by its contact with gaseous nitrogen. A review of chemical reactors for production of aluminum nitride by the chemical gas-phase deposition method is presented. The total set of the reactors is discussed.

Translated title of the contribution	Review of chemical reactors for production of aluminum nitride by subhalogenide method from gas phase
Original language	Russian
Pages (from-to)	134-144
Number of pages	11
Journal	Химическая технология
Issue number	3
DOIs	https://doi.org/10.31044/1684-5811-2020-21-3-134-144
Publication status	Published - 2020

GRNTI

61.35.00

Level of Research Output

VAK List

Access to Document

10.31044/1684-5811-2020-21-3-134-144

Cite this

Шишкин, Роман Александрович ; Кудякова, Валерия Сергеевна. / Обзор химических реакторов для получения нитрида алюминия субгалогенидным способом из газовой фазы. In: Химическая технология. 2020 ; No. 3. pp. 134-144.

@article{67ae04b1e36141ccb2102e7855a37ac6,

title = "Обзор химических реакторов для получения нитрида алюминия субгалогенидным способом из газовой фазы",

abstract = "Нитрид алюминия находит свое применение в различных отраслях промышленности, требующих в первую очередь высокой теплопроводности. Для получения дисперсного нитрида алюминия был предложен газофазный метод, заключающийся в реакции образования субгалогенида алюминия с его последующим контактом с газообразным азотом. Настоящая работа посвящена обзору химических реакторов для получения нитрида алюминия методом химического осаждения из газовой фазы: начиная от полупромышленного реактора для получения особочистого алюминия через реакцию образования субгалогенида алюминия, заканчивая модельной установкой для получения дисперсного нитрида алюминия.",

author = "Шишкин, {Роман Александрович} and Кудякова, {Валерия Сергеевна}",

year = "2020",

doi = "10.31044/1684-5811-2020-21-3-134-144",

language = "Русский",

pages = "134--144",

journal = "Химическая технология",

issn = "1684-5811",

publisher = "Общество с ограниченной ответственностью {"}Наука и технологии{"}",

number = "3",

}

Обзор химических реакторов для получения нитрида алюминия субгалогенидным способом из газовой фазы. / Шишкин, Роман Александрович ; Кудякова, Валерия Сергеевна.
In: Химическая технология, No. 3, 2020, p. 134-144.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

TY - JOUR

T1 - Обзор химических реакторов для получения нитрида алюминия субгалогенидным способом из газовой фазы

AU - Шишкин, Роман Александрович

AU - Кудякова, Валерия Сергеевна

PY - 2020

Y1 - 2020

N2 - Нитрид алюминия находит свое применение в различных отраслях промышленности, требующих в первую очередь высокой теплопроводности. Для получения дисперсного нитрида алюминия был предложен газофазный метод, заключающийся в реакции образования субгалогенида алюминия с его последующим контактом с газообразным азотом. Настоящая работа посвящена обзору химических реакторов для получения нитрида алюминия методом химического осаждения из газовой фазы: начиная от полупромышленного реактора для получения особочистого алюминия через реакцию образования субгалогенида алюминия, заканчивая модельной установкой для получения дисперсного нитрида алюминия.

AB - Нитрид алюминия находит свое применение в различных отраслях промышленности, требующих в первую очередь высокой теплопроводности. Для получения дисперсного нитрида алюминия был предложен газофазный метод, заключающийся в реакции образования субгалогенида алюминия с его последующим контактом с газообразным азотом. Настоящая работа посвящена обзору химических реакторов для получения нитрида алюминия методом химического осаждения из газовой фазы: начиная от полупромышленного реактора для получения особочистого алюминия через реакцию образования субгалогенида алюминия, заканчивая модельной установкой для получения дисперсного нитрида алюминия.

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=42556334

U2 - 10.31044/1684-5811-2020-21-3-134-144

DO - 10.31044/1684-5811-2020-21-3-134-144

M3 - Статья

SN - 1684-5811

SP - 134

EP - 144

JO - Химическая технология

JF - Химическая технология

IS - 3

ER -

Обзор химических реакторов для получения нитрида алюминия субгалогенидным способом из газовой фазы

Abstract

GRNTI

Level of Research Output

Access to Document

Other files and links

Fingerprint

Cite this