Fingerprint
Dive into the research topics of 'Deposition of silicon carbonitride coatings in the plasma of high-current discharge with self-heated hollow cathode'. Together they form a unique fingerprint.- Sort by
- Weight
- Alphabetically
ОСАЖДЕНИЕ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ КАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ В ПЛАЗМЕ СИЛЬНОТОЧНОГО РАЗРЯДА С САМОНАКАЛИВАЕМЫМ ПОЛЫМ КАТОДОМ
Андрей Игоревич Меньшаков, Даниил Рафаилович Емлин, Николай Васильевич Гаврилов , Юрий Сергеевич Сурков, Сеиф Османович Чолах
Research output: Contribution to journal › Article › peer-review