ОСАЖДЕНИЕ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ КАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ В ПЛАЗМЕ СИЛЬНОТОЧНОГО РАЗРЯДА С САМОНАКАЛИВАЕМЫМ ПОЛЫМ КАТОДОМ

Translated title of the contribution: Deposition of silicon carbonitride coatings in the plasma of high-current discharge with self-heated hollow cathode

Андрей Игоревич Меньшаков, Даниил Рафаилович Емлин, Николай Васильевич Гаврилов , Юрий Сергеевич Сурков, Сеиф Османович Чолах

Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

Fingerprint

Dive into the research topics of 'Deposition of silicon carbonitride coatings in the plasma of high-current discharge with self-heated hollow cathode'. Together they form a unique fingerprint.

Engineering & Materials Science

Earth & Environmental Sciences