Abstract

В учебном пособии рассмотрены физико-химические принципы организации нанесения тонких пленок и покрытий, способы нанесения пленок с использованием как физических, так и химических технологий, методы определения толщин, фазового состава и функциональных свойств пленок халькогенидов металлов и области их применения в электронной технике и альтернативной энергетике. Адресовано бакалаврам и магистрам, обучающимся по направлению 18.03.01 «Химическая технология»; может быть полезно студентам, специализирующимся в области химической технологии материалов и изделий электронной техники, а также инженерам и научным работникам, деятельность которых связана с получением и исследованием тонкопленочных, функциональных материалов для микро- и оптоэлектроники.
Original languageRussian
Place of PublicationЕкатеринбург
PublisherИздательство Уральского университета
Number of pages236
ISBN (Print)978-5-7996-2560-3
Publication statusPublished - 2019

GRNTI

  • 61.01.00

Level of Research Output

  • Recommended by EMC of UrFU

Cite this

@book{eb6f8a280c804ecc89f9ffaec3e25744,
title = "Технология тонких пленок и покрытий: учебное пособие",
abstract = "В учебном пособии рассмотрены физико-химические принципы организации нанесения тонких пленок и покрытий, способы нанесения пленок с использованием как физических, так и химических технологий, методы определения толщин, фазового состава и функциональных свойств пленок халькогенидов металлов и области их применения в электронной технике и альтернативной энергетике. Адресовано бакалаврам и магистрам, обучающимся по направлению 18.03.01 «Химическая технология»; может быть полезно студентам, специализирующимся в области химической технологии материалов и изделий электронной техники, а также инженерам и научным работникам, деятельность которых связана с получением и исследованием тонкопленочных, функциональных материалов для микро- и оптоэлектроники.",
author = "Маскаева, {Лариса Николаевна} and Федорова, {Екатерина Алексеевна} and Марков, {Вячеслав Филиппович}",
editor = "Маскаева, {Лариса Николаевна}",
note = "Рекомендовано методическим советом Уральского федерального университета в качестве учебного пособия для студентов вуза, обучающихся по направлению подготовки 18.03.01 «Химическая технология»",
year = "2019",
language = "Русский",
isbn = "978-5-7996-2560-3",
publisher = "Издательство Уральского университета",
address = "Российская Федерация",

}

TY - BOOK

T1 - Технология тонких пленок и покрытий

T2 - учебное пособие

AU - Маскаева, Лариса Николаевна

AU - Федорова, Екатерина Алексеевна

AU - Марков, Вячеслав Филиппович

A2 - Маскаева, Лариса Николаевна

N1 - Рекомендовано методическим советом Уральского федерального университета в качестве учебного пособия для студентов вуза, обучающихся по направлению подготовки 18.03.01 «Химическая технология»

PY - 2019

Y1 - 2019

N2 - В учебном пособии рассмотрены физико-химические принципы организации нанесения тонких пленок и покрытий, способы нанесения пленок с использованием как физических, так и химических технологий, методы определения толщин, фазового состава и функциональных свойств пленок халькогенидов металлов и области их применения в электронной технике и альтернативной энергетике. Адресовано бакалаврам и магистрам, обучающимся по направлению 18.03.01 «Химическая технология»; может быть полезно студентам, специализирующимся в области химической технологии материалов и изделий электронной техники, а также инженерам и научным работникам, деятельность которых связана с получением и исследованием тонкопленочных, функциональных материалов для микро- и оптоэлектроники.

AB - В учебном пособии рассмотрены физико-химические принципы организации нанесения тонких пленок и покрытий, способы нанесения пленок с использованием как физических, так и химических технологий, методы определения толщин, фазового состава и функциональных свойств пленок халькогенидов металлов и области их применения в электронной технике и альтернативной энергетике. Адресовано бакалаврам и магистрам, обучающимся по направлению 18.03.01 «Химическая технология»; может быть полезно студентам, специализирующимся в области химической технологии материалов и изделий электронной техники, а также инженерам и научным работникам, деятельность которых связана с получением и исследованием тонкопленочных, функциональных материалов для микро- и оптоэлектроники.

UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=38253476

M3 - Учебное издание

SN - 978-5-7996-2560-3

BT - Технология тонких пленок и покрытий

PB - Издательство Уральского университета

CY - Екатеринбург

ER -