ВЛИЯНИЕ УГЛОВОГО РАСПОЛОЖЕНИЯ ФОТОШАБЛОНА ПРИ СИНТЕЗЕ КРУГОВЫХ ОПТИЧЕСКИХ ШКАЛ НА ИХ УГЛОВЫЕ ПОГРЕШНОСТИ

Resultado de la investigación: Articlerevisión exhaustiva

Resumen

Изучено влияние углового расположения фотошаблона при синтезе круговых оптических шкал, изготовленных с помощью этого фотошаблона способом обратной фотолитографии, на их накопленную угловую погрешность. С помощью фазо-статистического метода исследованы угловые погрешности круговых оптических шкал и определены погрешности, вносимые совместно генератором изображений и операцией экспонирования в угловые погрешности шкалы
Idioma originalRussian
Páginas (desde-hasta)72-76
Número de páginas5
PublicaciónОптический журнал
Volumen82
N.º6
EstadoPublished - 2015

GRNTI

  • 29.31.00

Level of Research Output

  • VAK List

Citar esto