Способ получения имплантированного ионами олова кварцевого стекла: патент на изобретение

Анатолий Федорович Зацепин (Inventor), Всеволод Семенович Кортов (Inventor), Евгений Александрович Бунтов (Inventor), Николай Васильевич Гаврилов (Inventor)

Resultado de la investigación: Patent

Resumen

FIELD: physics.
SUBSTANCE: tin ions are implanted into quartz glass and the quartz glass implanted with tin ions is annealed in an air atmosphere. Tin ion implantation is carried out in pulsed mode with pulse duration of 0.3-0.4 ms, pulse repetition frequency of 12.5-20 Hz, pulsed ionic current density of 0.8-0.9 mA/cm2, exposure dose of (4.5-5)×1016 ions/cm2, tin ion energy of 30-35 keV and silicon dioxide temperature of 60-350°C. Annealing is carried out at temperature of 800-900°C for 50-70 minutes in an air atmosphere.
EFFECT: obtaining glass with a high level of radiation intensity in the near-infrared range.
Título traducido de la contribuciónMETHOD OF PRODUCING QUARTZ GLASS IMPLANTED WITH TIN IONS: patent of invention
Idioma originalRussian
Número de patente2486282
CIPC23C 14/48
Fecha de introducción17/11/2011
EstadoPublished - 27 jun 2013

GRNTI

  • 29.19.00

Huella Profundice en los temas de investigación de 'Способ получения имплантированного ионами олова кварцевого стекла: патент на изобретение'. En conjunto forman una huella única.

Citar esto