Способ получения имплантированного ионами олова кварцевого стекла: патент на изобретение

Анатолий Федорович Зацепин; Всеволод Семенович Кортов; Евгений Александрович Бунтов; Николай Васильевич Гаврилов

Способ получения имплантированного ионами олова кварцевого стекла: патент на изобретение

Анатолий Федорович Зацепин (Inventor), Всеволод Семенович Кортов (Inventor), Евгений Александрович Бунтов (Inventor), Николай Васильевич Гаврилов (Inventor)

Resultado de la investigación: Patent

Resumen

FIELD: physics.
SUBSTANCE: tin ions are implanted into quartz glass and the quartz glass implanted with tin ions is annealed in an air atmosphere. Tin ion implantation is carried out in pulsed mode with pulse duration of 0.3-0.4 ms, pulse repetition frequency of 12.5-20 Hz, pulsed ionic current density of 0.8-0.9 mA/cm2, exposure dose of (4.5-5)×1016 ions/cm2, tin ion energy of 30-35 keV and silicon dioxide temperature of 60-350°C. Annealing is carried out at temperature of 800-900°C for 50-70 minutes in an air atmosphere.
EFFECT: obtaining glass with a high level of radiation intensity in the near-infrared range.

Título traducido de la contribución	METHOD OF PRODUCING QUARTZ GLASS IMPLANTED WITH TIN IONS: patent of invention
Idioma original	Russian
Número de patente	2486282
CIP	C23C 14/48
Fecha de introducción	17/11/2011
Estado	Published - 27 jun 2013

GRNTI

29.19.00

Acceder al documento

Huella Profundice en los temas de investigación de 'Способ получения имплантированного ионами олова кварцевого стекла: патент на изобретение'. En conjunto forman una huella única.

Citar esto

Зацепин, А. Ф., Кортов, В. С., Бунтов, Е. А., & Гаврилов , Н. В. (2013). N.º de IPC C23C 14/48. Способ получения имплантированного ионами олова кварцевого стекла: патент на изобретение. (N.º de patente 2486282). Федеральный институт промышленной собственности. https://new.fips.ru/registers-doc-view/fips_servlet?DB=RUPAT&DocNumber=2486282&TypeFile=html

Зацепин, Анатолий Федорович (Inventor) ; Кортов, Всеволод Семенович (Inventor) ; Бунтов, Евгений Александрович (Inventor) ; Гаврилов , Николай Васильевич (Inventor). / Способ получения имплантированного ионами олова кварцевого стекла : патент на изобретение. Федеральный институт промышленной собственности. N.º de IPC: C23C 14/48. N.º de patente: 2486282. jun 27, 2013.

@misc{b1625acc539847238648613fe8b2b5b3,

title = "Способ получения имплантированного ионами олова кварцевого стекла: патент на изобретение",

abstract = "Изобретение относится к способу получения имплантированного ионами олова кварцевого стекла из диоксида кремния с поверхностным слоем, содержащим нанокластеры олова. Упомянутый способ может быть использован при создании компонентов микро-(нано-) и оптоэлектронных устройств. Проводят имплантацию ионов олова в кварцевое стекло и отжиг имплантированного ионами олова кварцевого стекла в воздушной атмосфере. Имплантацию ионов олова проводят в импульсном режиме при длительности импульсов 0,3-0,4 мс, частоте повторения импульсов 12,5-20 Гц, импульсной плотности ионного тока 0,8-0,9 мА/см2, дозе облучения (4,5-5)×1016 ион/см2, энергии ионов олова 30-35 кэВ и температуре диоксида кремния 60-350°С. Отжиг проводят при температуре 800-900°С в течение 50-70 мин в воздушной атмосфере. Обеспечивается получение стекла с повышенным уровнем интенсивности излучения в ближней области инфракрасного диапазона.",

author = "Зацепин, {Анатолий Федорович} and Кортов, {Всеволод Семенович} and Бунтов, {Евгений Александрович} and Гаврилов, {Николай Васильевич}",

year = "2013",

month = jun,

day = "27",

language = "Русский",

publisher = "Федеральный институт промышленной собственности",

address = "Российская Федерация",

type = "Patent",

note = "2486282; C23C 14/48",

}

Зацепин, АФ , Кортов, ВС , Бунтов, ЕА & Гаврилов , НВ jun. 27 2013, Способ получения имплантированного ионами олова кварцевого стекла: патент на изобретение, N.º de patente 2486282, N.º de IPC C23C 14/48. <https://new.fips.ru/registers-doc-view/fips_servlet?DB=RUPAT&DocNumber=2486282&TypeFile=html>

Способ получения имплантированного ионами олова кварцевого стекла : патент на изобретение. / Зацепин, Анатолий Федорович (Inventor); Кортов, Всеволод Семенович (Inventor); Бунтов, Евгений Александрович (Inventor); Гаврилов , Николай Васильевич (Inventor).

Федеральный институт промышленной собственности. N.º de IPC: C23C 14/48. N.º de patente: 2486282. jun 27, 2013.

Resultado de la investigación: Patent

TY - PAT

T1 - Способ получения имплантированного ионами олова кварцевого стекла

T2 - патент на изобретение

AU - Зацепин, Анатолий Федорович

AU - Кортов, Всеволод Семенович

AU - Бунтов, Евгений Александрович

AU - Гаврилов , Николай Васильевич

PY - 2013/6/27

Y1 - 2013/6/27

N2 - Изобретение относится к способу получения имплантированного ионами олова кварцевого стекла из диоксида кремния с поверхностным слоем, содержащим нанокластеры олова. Упомянутый способ может быть использован при создании компонентов микро-(нано-) и оптоэлектронных устройств. Проводят имплантацию ионов олова в кварцевое стекло и отжиг имплантированного ионами олова кварцевого стекла в воздушной атмосфере. Имплантацию ионов олова проводят в импульсном режиме при длительности импульсов 0,3-0,4 мс, частоте повторения импульсов 12,5-20 Гц, импульсной плотности ионного тока 0,8-0,9 мА/см2, дозе облучения (4,5-5)×1016 ион/см2, энергии ионов олова 30-35 кэВ и температуре диоксида кремния 60-350°С. Отжиг проводят при температуре 800-900°С в течение 50-70 мин в воздушной атмосфере. Обеспечивается получение стекла с повышенным уровнем интенсивности излучения в ближней области инфракрасного диапазона.

AB - Изобретение относится к способу получения имплантированного ионами олова кварцевого стекла из диоксида кремния с поверхностным слоем, содержащим нанокластеры олова. Упомянутый способ может быть использован при создании компонентов микро-(нано-) и оптоэлектронных устройств. Проводят имплантацию ионов олова в кварцевое стекло и отжиг имплантированного ионами олова кварцевого стекла в воздушной атмосфере. Имплантацию ионов олова проводят в импульсном режиме при длительности импульсов 0,3-0,4 мс, частоте повторения импульсов 12,5-20 Гц, импульсной плотности ионного тока 0,8-0,9 мА/см2, дозе облучения (4,5-5)×1016 ион/см2, энергии ионов олова 30-35 кэВ и температуре диоксида кремния 60-350°С. Отжиг проводят при температуре 800-900°С в течение 50-70 мин в воздушной атмосфере. Обеспечивается получение стекла с повышенным уровнем интенсивности излучения в ближней области инфракрасного диапазона.

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=37512622

M3 - Патент

M1 - 2486282

Y2 - 2011/11/17

PB - Федеральный институт промышленной собственности

ER -