Structural transformation of Si-rich SiNx film on Si via swift heavy ions irradiation

D. Murzalinov, A. Akilbekov, A. Dauletbekova, L. Vlasukova, M. Makhavikov, M. Zdorovets

Resultado de la investigación: Article

2 Citas (Scopus)
Idioma originalEnglish
Número de artículo035035
Número de páginas7
PublicaciónMaterials Research Express
Volumen5
N.º3
DOI
EstadoPublished - mar 2018

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