Resumo
Изучено влияние углового расположения фотошаблона при синтезе круговых оптических шкал, изготовленных с помощью этого фотошаблона способом обратной фотолитографии, на их накопленную угловую погрешность. С помощью фазо-статистического метода исследованы угловые погрешности круговых оптических шкал и определены погрешности, вносимые совместно генератором изображений и операцией экспонирования в угловые погрешности шкалы
| Idioma original | Russian |
|---|---|
| Páginas (de-até) | 72-76 |
| Número de páginas | 5 |
| Revista | Оптический журнал |
| Volume | 82 |
| Número de emissão | 6 |
| Estado da publicação | Published - 2015 |
GRNTI
- 29.31.00
Level of Research Output
- VAK List