TY - PAT
T1 - Способ контроля качества кварцевых резонаторов
T2 - патент на изобретение
AU - Галанов, Г. Н.
AU - Зацепин, Анатолий Федорович
AU - Кортов, Всеволод Семенович
AU - Лучинин, Александр Сергеевич
AU - Мальцев, Ардалион Павлович
AU - Тюков, Василий Васильевич
AU - Ушкова, В. И.
PY - 1995/9/27
Y1 - 1995/9/27
N2 - Использование: технология изготовления и контроль качества изделий акустоэлектроники на поверхностных акустических волнах. Сущность изобретения: контроль осуществляктся путем измерения тока фотостимулированной экзоэлектронной эмиссии при сканировании УФ-зондом локального участка поверхности между излучающим и приемным встречно-штыревыми преобразователями. Положительный эффект: возможность количественной оценки рабочих параметров готовых резонаторов на промежуточных этапах технологического цикла и сборки. 4 ил. 5 табл.
AB - Использование: технология изготовления и контроль качества изделий акустоэлектроники на поверхностных акустических волнах. Сущность изобретения: контроль осуществляктся путем измерения тока фотостимулированной экзоэлектронной эмиссии при сканировании УФ-зондом локального участка поверхности между излучающим и приемным встречно-штыревыми преобразователями. Положительный эффект: возможность количественной оценки рабочих параметров готовых резонаторов на промежуточных этапах технологического цикла и сборки. 4 ил. 5 табл.
UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=38017899
M3 - Патент
M1 - 2045041
Y2 - 1991/07/11
PB - Федеральный институт промышленной собственности
ER -