Al2O3 thin films deposition by reactive evaporation of Al in anodic arc with high levels of metal ionization

N. V. Gavrilov, A. S. Kamenetskikh, P. V. Trernikov, D. R. Emlin, A. V. Chukin, Yu S. Surkov

Resultado de pesquisa: Articlerevisão de pares

7 Citações (Scopus)
Filtro
Ativo

Resultados da pesquisa