Deposition of Al2O3 coatings in Ar-O2 low-pressure discharge plasma under a high dissociation degree of O2

P. V. Tretnikov, N. V. Gavrilov, A. S. Kamenetskikh, S. V. Krivoshapko, A. V. Chukin

Resultado de pesquisa: Conference articlerevisão de pares

Idioma originalEnglish
Número do artigo012047
RevistaJournal of Physics: Conference Series
Volume2064
Número de emissão1
DOIs
Estado da publicaçãoPublished - 25 nov 2021
Evento15th International Conference on Gas Discharge Plasmas and Their Applications, GDP 2021 - Ekaterinburg, Russian Federation
Duração: 5 set 202110 set 2021

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