Deposition of Al2O3 coatings in Ar-O2 low-pressure discharge plasma under a high dissociation degree of O2

P. V. Tretnikov, N. V. Gavrilov, A. S. Kamenetskikh, S. V. Krivoshapko, A. V. Chukin

Resultado de pesquisa: Conference articlerevisão de pares

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Физика и астрономия