Reactive Deposition of Al2O3 Coatings by Thermal Evaporation in a High-Current Discharge with a Hollow Anode

A. S. Kamenetskikh, N. V. Gavrilov, Yu S. Surkov, P. V. Tretnikov, A. V. Chukin

Resultado de pesquisa: Articlerevisão de pares

1 Citação (Scopus)
Idioma originalEnglish
Páginas (de-até)85-91
Número de páginas7
RevistaJournal of Surface Investigation
Volume14
Número de emissão1
DOIs
Estado da publicaçãoPublished - 1 jan 2020

ASJC Scopus subject areas

  • Surfaces, Coatings and Films

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  • Physics, Condensed Matter

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  • 29.00.00 PHYSICS

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