Structural transformation of Si-rich SiNx film on Si via swift heavy ions irradiation

D. Murzalinov, A. Akilbekov, A. Dauletbekova, L. Vlasukova, M. Makhavikov, M. Zdorovets

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2 Citações (Scopus)
Idioma originalEnglish
Número do artigo035035
Número de páginas7
RevistaMaterials Research Express
Volume5
Número de emissão3
DOIs
Estado da publicaçãoPublished - mar 2018

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