Synthesis of Lithium Phosphorus Oxynitride (LiPON) Thin Films by Li3 PO4 Anodic Evaporation in Nitrogen Plasma of a Low-Pressure Arc Discharge

Nikolay Gavrilov, Alexander Kamenetskikh, Petr Tretnikov, Alexey Nikonov, Leonid Sinelnikov, Denis Butakov, Viktor Nikolkin, Andrey Chukin

Resultado de pesquisa: Articlerevisão de pares

Idioma originalEnglish
Número do artigo40
Número de páginas12
RevistaMembranes
Volume12
Número de emissão1
DOIs
Estado da publicaçãoPublished - jan 2022

ASJC Scopus subject areas

  • Chemical Engineering (miscellaneous)
  • Process Chemistry and Technology
  • Filtration and Separation

WoS ResearchAreas Categories

  • Biochemistry & Molecular Biology
  • Chemistry, Physical
  • Engineering, Chemical
  • Materials Science, Multidisciplinary
  • Polymer Science

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