Базовая кафедра электрофизики

Отпечаток Отпечаток основан на извлечении текста из научных документов, связанных с лицами. На основании этого создается индекс взвешенных терминов, который определяет ключевые темы исследовательского подразделения

Carbon nitride Технические дисциплины и материаловедение
silicon Науки об окружающей среде
coating Науки об окружающей среде
Cathodes Технические дисциплины и материаловедение
Plasmas Технические дисциплины и материаловедение
plasma Науки об окружающей среде
Silicon Технические дисциплины и материаловедение
Coatings Технические дисциплины и материаловедение

Сеть Недавняя внешняя коллаборация на уровне стран. Углубитесь в детали нажатием на точки.

Профили

Фотография Наталья Геннадьевна отсутствует Жидкова

Жидкова, Наталья Геннадьевна

Лицо: Учебно-вспомогательный и прочий обслуживающий персонал

20142014
Фотография Андрей Игоревич отсутствует Меньшаков

Меньшаков, Андрей Игоревич

Лицо: Учебно-вспомогательный и прочий обслуживающий персонал

20182018

Результат исследований 2018 2018

  • 1 Статья

ОСАЖДЕНИЕ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ КАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ В ПЛАЗМЕ СИЛЬНОТОЧНОГО РАЗРЯДА С САМОНАКАЛИВАЕМЫМ ПОЛЫМ КАТОДОМ

Меньшаков, А. И., Емлин, Д. Р., Гаврилов, Н. В., Сурков, Ю. С. & Чолах, С. О., 2018, В : Известия высших учебных заведений. Физика. 61, 8-2 (728), стр. 168-172 5 стр.

Результат исследований: Вклад в журналСтатьяНаучно-исследовательскаярецензирование

Carbon nitride
silicon
coating
Cathodes
Plasmas