Базовая кафедра электрофизики

Результат исследований 2016 2018

  • 1 Статья
  • 1 Кандидатская/Докторская диссертация
2018

ОСАЖДЕНИЕ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ КАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ В ПЛАЗМЕ СИЛЬНОТОЧНОГО РАЗРЯДА С САМОНАКАЛИВАЕМЫМ ПОЛЫМ КАТОДОМ

Меньшаков, А. И., Емлин, Д. Р., Гаврилов, Н. В., Сурков, Ю. С. & Чолах, С. О., 2018, В : Известия высших учебных заведений. Физика. 61, 8-2 (728), стр. 168-172 5 стр.

Результат исследований: Вклад в журналСтатьяНаучно-исследовательскаярецензирование

Carbon nitride
silicon
coating
Cathodes
Plasmas