ВЛИЯНИЕ ОБЛУЧЕНИЯ ИОНАМИ FE7+ НА СТРУКТУРНЫЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК TIO2

Артем Л. Козловский, К. Дукенбаев, Максим Здоровец

Результат исследований: Вклад в журналСтатья

Аннотация

Методом магнетронного напыления были получены тонкие фольги на основе TiO2 толщиной 620 нм. Облучение образцов проводилось ионами Fe7+ с энергией 85 МэВ с флюенсом от 1 × 1011 до 1 × 1014 ион/см2. Установлены зависимости изменения концентрации дефектов в структуре тонких пленок от дозы облучения. Установлено, что увеличение параметров кристаллической решетки и снижение плотности за счет образования областей разупорядоченности и смещенных атомов в структуре приводит к изменению межплоскостных расстояний и увеличению деформации и напряжениям в структуре кристаллической решетки.
Язык оригиналаРусский
Страницы (с-по)315-319
Число страниц4
ЖурналХимия высоких энергий
Том53
Номер выпуска4
DOI
СостояниеОпубликовано - 2019

ГРНТИ

  • 31.15.00 Физическая химия

Уровень публикации

  • Перечень ВАК

Цитировать