ВЛИЯНИЕ ПРИРОДЫ ПОДЛОЖКИ НА СОСТАВ ПЛЕНОК CDPBS И МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ НА ИНТЕРФЕЙСЕ "ПЛЕНКА--ПОДЛОЖКА"

Результат исследований: Вклад в журналСтатья

Аннотация

Исследована роль подложки различной природы на фазовый состав, морфологию и механические напряжения на интерфейсе "пленка---подложка" при химическом осаждении слоев CdPbS на кремнии (111), ситалле, плавленом кварце, ITO-покрытии, предметном и пористом стеклах. Высказано предположение, что выявленные особенности связаны с различными условиями зарождения и роста пленок. Установлено, что на плавленом кварце формируется однофазная пленка твердого раствора Cd--x--Pb--1-x--S в отличие от остальных субстратов, на которых осаждаются слои, содержащие дополнительно от 2 до 8 мол% рентгеноаморфной фазы CdS. Показано, что увеличение величины механических напряжений сжатия на интерфейсе "пленка--подложка" с -9.32 до -121.79 кН/м--2-- в ряду пористое стекло--предметное стекло--ситалл--кремний (111)--плавленый кварц асимбатно значениям температурных коэффициентов расширения этих подложечных материалов. Ключевые слова: химическое осаждение, тонкие пленки, твердые растворы Cd--x--Pb--1-x--S, механические напряжения сжатия.
Переведенное названиеEFFECT OF THE SUBSTRATE NATURE ON THE CDPBS FILM COMPOSITION AND MECHANICAL STRESSES AT THE “FILM–SUBSTRATE” INTERFACE
Язык оригиналаРусский
Страницы (с-по)1309-1319
Число страниц11
ЖурналФизика и техника полупроводников
Том54
Номер выпуска12
DOI
СостояниеОпубликовано - 2020

ГРНТИ

  • 31.00.00 ХИМИЯ

Уровень публикации

  • Перечень ВАК

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «ВЛИЯНИЕ ПРИРОДЫ ПОДЛОЖКИ НА СОСТАВ ПЛЕНОК CDPBS И МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ НА ИНТЕРФЕЙСЕ "ПЛЕНКА--ПОДЛОЖКА"». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать