ВЛИЯНИЕ УГЛОВОГО РАСПОЛОЖЕНИЯ ФОТОШАБЛОНА ПРИ СИНТЕЗЕ КРУГОВЫХ ОПТИЧЕСКИХ ШКАЛ НА ИХ УГЛОВЫЕ ПОГРЕШНОСТИ

Результат исследований: Вклад в журналСтатья

Аннотация

Изучено влияние углового расположения фотошаблона при синтезе круговых оптических шкал, изготовленных с помощью этого фотошаблона способом обратной фотолитографии, на их накопленную угловую погрешность. С помощью фазо-статистического метода исследованы угловые погрешности круговых оптических шкал и определены погрешности, вносимые совместно генератором изображений и операцией экспонирования в угловые погрешности шкалы
Язык оригиналаРусский
Страницы (с-по)72-76
Число страниц5
ЖурналОптический журнал
Том82
Номер выпуска6
СостояниеОпубликовано - 2015

ГРНТИ

  • 29.31.00 Оптика

Уровень публикации

  • Перечень ВАК

Цитировать