ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ ГИДРОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК ZNSE НА ИХ МОРФОЛОГИЮ И ВНУТРЕННИЕ МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ

Результат исследований: Вклад в журналСтатья

Аннотация

Методом гидрохимического осаждения в системе ZnCl2-Na2ЭДТА-NaOH-NH2OH·HCl с использованием селеносульфата натрия в качестве халькогенизатора на ситалловых подложках получены пленки ZnSe толщиной до 2300 нм. Наблюдаемые по данным рентгеновского анализа дифракционные отражения соответствуют фазе ZnSe (штиллеит) с кубической (пр. гр. F43m) кристаллической структурой при значении ее постоянной 5.610 ± 0.002 Å. Электронно-микроскопическими исследованиями установлено, что морфология пленок ZnSe представляет собой плотно прилегающие друг к другу глобульные образования, средние размеры которых в зависимости от условий осаждения составляют 250-400 нм. По результатам элементного EDX анализа полученные пленки в среднем содержат 43.68 ат% цинка, 30.50 ат% селена и 25.82 ат% кислорода, концентрация которого несколько снижается на глубине 30 нм. Рассчитаны внутренние механические напряжения сжатия, вызванные различием коэффициентов термического расширения пленки ZnSe и ситалловой подложки, зависящие от толщины осажденного слоя и достигающие для ~1040 нм величины -30.62 кН·м-2. Использование полученных результатов позволит исключить нарушение сплошности пленки с ростом ее толщины при формировании прекурсорных слоев, а также обеспечить выбор оптимального подложечного материала.
Язык оригиналаРусский
Страницы (с-по)1346-1356
Число страниц11
ЖурналЖурнал прикладной химии
Том91
Номер выпуска9
DOI
СостояниеОпубликовано - 2018

Уровень публикации

  • Перечень ВАК

Цитировать