Имплантированная ионами олова пленка оксида кремния на кремниевой подложке: патент на изобретение

Анатолий Федорович Зацепин; Евгений Александрович Бунтов; Всеволод Семенович Кортов

Имплантированная ионами олова пленка оксида кремния на кремниевой подложке: патент на изобретение

Анатолий Федорович Зацепин (Изобретатель), Евгений Александрович Бунтов (Изобретатель), Всеволод Семенович Кортов (Изобретатель)

Результат исследований: Патент

Аннотация

Изобретение относится к материаловедению. Пленка оксида кремния на кремниевой подложке, имплантированная ионами олова, включает нанокластеры альфа-олова. Толщина пленки составляет 80÷350 нм, средняя концентрация олова находится в пределах от 2,16 до 7,1 атомных процентов, нанокластеры альфа-олова имеют радиус от 1,5 до 4 нм. Пленка имеет увеличенную интенсивность и уменьшенную ширину полосы фотолюминесценции в диапазоне 700÷1100 нм.

Переведенное название	TIN ION-IMPLANTED SILICON OXIDE FILM ON SILICON SUBSTRATE: patent of invention
Язык оригинала	Русский
Номер патента	2535244
IPC	H01L 21/265,B82B 3/00
Дата подачи заявки	18/06/2013
Состояние	Опубликовано - 10 дек 2014

Ссылки

Другие файлы и ссылки

https://elibrary.ru/item.asp?id=37456323

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Имплантированная ионами олова пленка оксида кремния на кремниевой подложке: патент на изобретение». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать

Зацепин, А. Ф., Бунтов, Е. А., & Кортов, В. С. (2014). Имплантированная ионами олова пленка оксида кремния на кремниевой подложке: патент на изобретение. (Патент № 2535244). Федеральный институт промышленной собственности. http://www1.fips.ru/registers-doc-view/fips_servlet?DB=RUPAT&DocNumber=2535244&TypeFile=html

Зацепин, Анатолий Федорович (Изобретатель) ; Бунтов, Евгений Александрович (Изобретатель) ; Кортов, Всеволод Семенович (Изобретатель). / Имплантированная ионами олова пленка оксида кремния на кремниевой подложке : патент на изобретение. Федеральный институт промышленной собственности. Патент №: 2535244. дек 10, 2014.

@misc{772b8f4bdbb04170ac43854501521005,

title = "Имплантированная ионами олова пленка оксида кремния на кремниевой подложке: патент на изобретение",

abstract = "Изобретение относится к материаловедению. Пленка оксида кремния на кремниевой подложке, имплантированная ионами олова, включает нанокластеры альфа-олова. Толщина пленки составляет 80÷350 нм, средняя концентрация олова находится в пределах от 2,16 до 7,1 атомных процентов, нанокластеры альфа-олова имеют радиус от 1,5 до 4 нм. Пленка имеет увеличенную интенсивность и уменьшенную ширину полосы фотолюминесценции в диапазоне 700÷1100 нм. ",

author = "Зацепин, {Анатолий Федорович} and Бунтов, {Евгений Александрович} and Кортов, {Всеволод Семенович}",

year = "2014",

month = dec,

day = "10",

language = "Русский",

publisher = "Федеральный институт промышленной собственности",

address = "Российская Федерация",

type = "Patent",

note = "2535244; H01L 21/265,B82B 3/00",

}

Зацепин, АФ , Бунтов, ЕА & Кортов, ВС дек. 10 2014, Имплантированная ионами олова пленка оксида кремния на кремниевой подложке: патент на изобретение, Патент № 2535244. <http://www1.fips.ru/registers-doc-view/fips_servlet?DB=RUPAT&DocNumber=2535244&TypeFile=html>

Имплантированная ионами олова пленка оксида кремния на кремниевой подложке : патент на изобретение. / Зацепин, Анатолий Федорович (Изобретатель); Бунтов, Евгений Александрович (Изобретатель); Кортов, Всеволод Семенович (Изобретатель).

Федеральный институт промышленной собственности. Патент №: 2535244. дек 10, 2014.

Результат исследований: Патент

TY - PAT

T1 - Имплантированная ионами олова пленка оксида кремния на кремниевой подложке

T2 - патент на изобретение

AU - Зацепин, Анатолий Федорович

AU - Бунтов, Евгений Александрович

AU - Кортов, Всеволод Семенович

PY - 2014/12/10

Y1 - 2014/12/10

N2 - Изобретение относится к материаловедению. Пленка оксида кремния на кремниевой подложке, имплантированная ионами олова, включает нанокластеры альфа-олова. Толщина пленки составляет 80÷350 нм, средняя концентрация олова находится в пределах от 2,16 до 7,1 атомных процентов, нанокластеры альфа-олова имеют радиус от 1,5 до 4 нм. Пленка имеет увеличенную интенсивность и уменьшенную ширину полосы фотолюминесценции в диапазоне 700÷1100 нм.

AB - Изобретение относится к материаловедению. Пленка оксида кремния на кремниевой подложке, имплантированная ионами олова, включает нанокластеры альфа-олова. Толщина пленки составляет 80÷350 нм, средняя концентрация олова находится в пределах от 2,16 до 7,1 атомных процентов, нанокластеры альфа-олова имеют радиус от 1,5 до 4 нм. Пленка имеет увеличенную интенсивность и уменьшенную ширину полосы фотолюминесценции в диапазоне 700÷1100 нм.

UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=37456323

M3 - Патент

M1 - 2535244

Y2 - 2013/06/18

PB - Федеральный институт промышленной собственности

ER -