Имплантированное ионами цинка кварцевое стекло: патент на изобретение

Анатолий Федорович Зацепин (Изобретатель), Евгений Александрович Бунтов (Изобретатель), Всеволод Семенович Кортов (Изобретатель), Николай Васильевич Гаврилов (Изобретатель)

Результат исследований: Патент

Аннотация

Изобретение относится к кварцевым стеклам, имплантированным ионами цинка, и может быть использовано при создании компонентов микро-(нано-) и оптоэлектронных устройств, в частности микроминиатюрных источников света для планарных тонкопленочных волноводных систем и оптических интегральных схем. Кварцевое стекло представляет собой основу из диоксида кремния с модифицированным поверхностным слоем, включающим монофазные включения в виде кристаллических нанокластеров Zn2SiO4, которые имеют диаметры 4÷10 нм и распределены в поверхностном слое стекла на глубинах 10÷50 нм. Стекло получено имплантацией в импульсном режиме при длительности импульсов 0,3-0,4 мс, частоте повторения импульсов 12,5-20 Гц, импульсной плотности тока 0,8-0,9 мА/см2, дозе облучения (4,5-5)·1016 ион/см2, энергии ионов 30-35 кэВ и температуре диоксида кремния 60-350°C. Полученное стекло характеризуется повышенной удельной интенсивностью в зеленой области спектра (500-600 нм).
Переведенное названиеZINC ION-IMPLANTED QUARTZ GLASS: patent of invention
Язык оригиналаРусский
Номер патента2585009
IPCC09K 11/54,C23C 14/10,C23C 14/48,B82B 3/00,B82Y 20/00
Дата подачи заявки24/11/2014
СостояниеОпубликовано - 27 мая 2016

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Имплантированное ионами цинка кварцевое стекло: патент на изобретение». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать