Имплантированное ионами цинка кварцевое стекло: патент на изобретение

Анатолий Федорович Зацепин; Евгений Александрович Бунтов; Всеволод Семенович Кортов; Николай Васильевич Гаврилов

Имплантированное ионами цинка кварцевое стекло: патент на изобретение

Анатолий Федорович Зацепин (Изобретатель), Евгений Александрович Бунтов (Изобретатель), Всеволод Семенович Кортов (Изобретатель), Николай Васильевич Гаврилов (Изобретатель)

Результат исследований: Патент

Аннотация

Изобретение относится к кварцевым стеклам, имплантированным ионами цинка, и может быть использовано при создании компонентов микро-(нано-) и оптоэлектронных устройств, в частности микроминиатюрных источников света для планарных тонкопленочных волноводных систем и оптических интегральных схем. Кварцевое стекло представляет собой основу из диоксида кремния с модифицированным поверхностным слоем, включающим монофазные включения в виде кристаллических нанокластеров Zn2SiO4, которые имеют диаметры 4÷10 нм и распределены в поверхностном слое стекла на глубинах 10÷50 нм. Стекло получено имплантацией в импульсном режиме при длительности импульсов 0,3-0,4 мс, частоте повторения импульсов 12,5-20 Гц, импульсной плотности тока 0,8-0,9 мА/см2, дозе облучения (4,5-5)·1016 ион/см2, энергии ионов 30-35 кэВ и температуре диоксида кремния 60-350°C. Полученное стекло характеризуется повышенной удельной интенсивностью в зеленой области спектра (500-600 нм).

Переведенное название	ZINC ION-IMPLANTED QUARTZ GLASS: patent of invention
Язык оригинала	Русский
Номер патента	2585009
IPC	C09K 11/54,C23C 14/10,C23C 14/48,B82B 3/00,B82Y 20/00
Дата подачи заявки	24/11/2014
Состояние	Опубликовано - 27 мая 2016

Ссылки

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Имплантированное ионами цинка кварцевое стекло: патент на изобретение». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать

Зацепин, А. Ф., Бунтов, Е. А., Кортов, В. С., & Гаврилов , Н. В. (2016). IPC № C09K 11/54, C23C 14/10, C23C 14/48, B82B 3/00, B82Y 20/00. Имплантированное ионами цинка кварцевое стекло: патент на изобретение. (Патент № 2585009). Федеральный институт промышленной собственности. http://www1.fips.ru/registers-doc-view/fips_servlet?DB=RUPAT&DocNumber=2585009&TypeFile=html

Зацепин, Анатолий Федорович (Изобретатель) ; Бунтов, Евгений Александрович (Изобретатель) ; Кортов, Всеволод Семенович (Изобретатель) ; Гаврилов , Николай Васильевич (Изобретатель). / Имплантированное ионами цинка кварцевое стекло : патент на изобретение. Федеральный институт промышленной собственности. IPC №: C09K 11/54, C23C 14/10, C23C 14/48, B82B 3/00, B82Y 20/00. Патент №: 2585009. мая 27, 2016.

@misc{0ed9920526654069bb85090d46eda64a,

title = "Имплантированное ионами цинка кварцевое стекло: патент на изобретение",

abstract = "Изобретение относится к кварцевым стеклам, имплантированным ионами цинка, и может быть использовано при создании компонентов микро-(нано-) и оптоэлектронных устройств, в частности микроминиатюрных источников света для планарных тонкопленочных волноводных систем и оптических интегральных схем. Кварцевое стекло представляет собой основу из диоксида кремния с модифицированным поверхностным слоем, включающим монофазные включения в виде кристаллических нанокластеров Zn2SiO4, которые имеют диаметры 4÷10 нм и распределены в поверхностном слое стекла на глубинах 10÷50 нм. Стекло получено имплантацией в импульсном режиме при длительности импульсов 0,3-0,4 мс, частоте повторения импульсов 12,5-20 Гц, импульсной плотности тока 0,8-0,9 мА/см2, дозе облучения (4,5-5)·1016 ион/см2, энергии ионов 30-35 кэВ и температуре диоксида кремния 60-350°C. Полученное стекло характеризуется повышенной удельной интенсивностью в зеленой области спектра (500-600 нм).",

author = "Зацепин, {Анатолий Федорович} and Бунтов, {Евгений Александрович} and Кортов, {Всеволод Семенович} and Гаврилов, {Николай Васильевич}",

year = "2016",

month = may,

day = "27",

language = "Русский",

publisher = "Федеральный институт промышленной собственности",

address = "Российская Федерация",

type = "Patent",

note = "2585009; C09K 11/54,C23C 14/10,C23C 14/48,B82B 3/00,B82Y 20/00",

}

Зацепин, АФ , Бунтов, ЕА , Кортов, ВС & Гаврилов , НВ мая. 27 2016, Имплантированное ионами цинка кварцевое стекло: патент на изобретение, Патент № 2585009, IPC № C09K 11/54, C23C 14/10, C23C 14/48, B82B 3/00, B82Y 20/00. <http://www1.fips.ru/registers-doc-view/fips_servlet?DB=RUPAT&DocNumber=2585009&TypeFile=html>

Имплантированное ионами цинка кварцевое стекло : патент на изобретение. / Зацепин, Анатолий Федорович (Изобретатель); Бунтов, Евгений Александрович (Изобретатель); Кортов, Всеволод Семенович (Изобретатель); Гаврилов , Николай Васильевич (Изобретатель).

Федеральный институт промышленной собственности. IPC №: C09K 11/54, C23C 14/10, C23C 14/48, B82B 3/00, B82Y 20/00. Патент №: 2585009. мая 27, 2016.

Результат исследований: Патент

TY - PAT

T1 - Имплантированное ионами цинка кварцевое стекло

T2 - патент на изобретение

AU - Зацепин, Анатолий Федорович

AU - Бунтов, Евгений Александрович

AU - Кортов, Всеволод Семенович

AU - Гаврилов , Николай Васильевич

PY - 2016/5/27

Y1 - 2016/5/27

N2 - Изобретение относится к кварцевым стеклам, имплантированным ионами цинка, и может быть использовано при создании компонентов микро-(нано-) и оптоэлектронных устройств, в частности микроминиатюрных источников света для планарных тонкопленочных волноводных систем и оптических интегральных схем. Кварцевое стекло представляет собой основу из диоксида кремния с модифицированным поверхностным слоем, включающим монофазные включения в виде кристаллических нанокластеров Zn2SiO4, которые имеют диаметры 4÷10 нм и распределены в поверхностном слое стекла на глубинах 10÷50 нм. Стекло получено имплантацией в импульсном режиме при длительности импульсов 0,3-0,4 мс, частоте повторения импульсов 12,5-20 Гц, импульсной плотности тока 0,8-0,9 мА/см2, дозе облучения (4,5-5)·1016 ион/см2, энергии ионов 30-35 кэВ и температуре диоксида кремния 60-350°C. Полученное стекло характеризуется повышенной удельной интенсивностью в зеленой области спектра (500-600 нм).

AB - Изобретение относится к кварцевым стеклам, имплантированным ионами цинка, и может быть использовано при создании компонентов микро-(нано-) и оптоэлектронных устройств, в частности микроминиатюрных источников света для планарных тонкопленочных волноводных систем и оптических интегральных схем. Кварцевое стекло представляет собой основу из диоксида кремния с модифицированным поверхностным слоем, включающим монофазные включения в виде кристаллических нанокластеров Zn2SiO4, которые имеют диаметры 4÷10 нм и распределены в поверхностном слое стекла на глубинах 10÷50 нм. Стекло получено имплантацией в импульсном режиме при длительности импульсов 0,3-0,4 мс, частоте повторения импульсов 12,5-20 Гц, импульсной плотности тока 0,8-0,9 мА/см2, дозе облучения (4,5-5)·1016 ион/см2, энергии ионов 30-35 кэВ и температуре диоксида кремния 60-350°C. Полученное стекло характеризуется повышенной удельной интенсивностью в зеленой области спектра (500-600 нм).

UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=37396935

M3 - Патент

M1 - 2585009

Y2 - 2014/11/24

PB - Федеральный институт промышленной собственности

ER -