Исследование влияния использования иммерсионной жидкости на угловые погрешности лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии

Результат исследований: Вклад в журналСтатья

Аннотация

Рассмотрены результаты исследования влияния иммерсионной жидкости, используемой при контактном экспонировании в технологическом процессе обратной фотолитографии, на угловые погрешности круговых оптических шкал (лимбов).
Язык оригиналаРусский
Страницы (с-по)90-93
Число страниц4
ЖурналОптический журнал
Том83
Номер выпуска1
СостояниеОпубликовано - 2016

Уровень публикации

  • Перечень ВАК

Цитировать