Исследование влияния использования иммерсионной жидкости на угловые погрешности лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии

Дмитрий Юрьевич Кручинин; Елена Павловна Фарафонтова

Исследование влияния использования иммерсионной жидкости на угловые погрешности лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии

Дмитрий Юрьевич Кручинин, Елена Павловна Фарафонтова

Институт новых материалов и технологий

Результат исследований: Вклад в журнал › Статья

Аннотация

Рассмотрены результаты исследования влияния иммерсионной жидкости, используемой при контактном экспонировании в технологическом процессе обратной фотолитографии, на угловые погрешности круговых оптических шкал (лимбов).

Язык оригинала	Русский
Страницы (с-по)	90-93
Число страниц	4
Журнал	Оптический журнал
Том	83
Номер выпуска	1
Состояние	Опубликовано - 2016

Уровень публикации

Перечень ВАК

Ссылки

eLIBRARY.RU

Цитировать

Кручинин, Д. Ю., & Фарафонтова, Е. П. (2016). Исследование влияния использования иммерсионной жидкости на угловые погрешности лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии. Оптический журнал, 83(1), 90-93.

Кручинин, Дмитрий Юрьевич ; Фарафонтова, Елена Павловна. / Исследование влияния использования иммерсионной жидкости на угловые погрешности лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии. В: Оптический журнал. 2016 ; Том 83, № 1. стр. 90-93.

@article{3f05065b0431402095a3718c79ec59a9,

title = "Исследование влияния использования иммерсионной жидкости на угловые погрешности лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии",

abstract = "Рассмотрены результаты исследования влияния иммерсионной жидкости, используемой при контактном экспонировании в технологическом процессе обратной фотолитографии, на угловые погрешности круговых оптических шкал (лимбов).",

author = "Кручинин, {Дмитрий Юрьевич} and Фарафонтова, {Елена Павловна}",

year = "2016",

language = "Русский",

volume = "83",

pages = "90--93",

journal = "Оптический журнал",

issn = "1023-5086",

publisher = "Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики",

number = "1",

}

Кручинин, ДЮ & Фарафонтова, ЕП 2016, 'Исследование влияния использования иммерсионной жидкости на угловые погрешности лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии', Оптический журнал, том. 83, № 1, стр. 90-93.

Исследование влияния использования иммерсионной жидкости на угловые погрешности лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии. / Кручинин, Дмитрий Юрьевич ; Фарафонтова, Елена Павловна.

В: Оптический журнал, Том 83, № 1, 2016, стр. 90-93.

Результат исследований: Вклад в журнал › Статья

TY - JOUR

T1 - Исследование влияния использования иммерсионной жидкости на угловые погрешности лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии

AU - Кручинин, Дмитрий Юрьевич

AU - Фарафонтова, Елена Павловна

PY - 2016

Y1 - 2016

N2 - Рассмотрены результаты исследования влияния иммерсионной жидкости, используемой при контактном экспонировании в технологическом процессе обратной фотолитографии, на угловые погрешности круговых оптических шкал (лимбов).

AB - Рассмотрены результаты исследования влияния иммерсионной жидкости, используемой при контактном экспонировании в технологическом процессе обратной фотолитографии, на угловые погрешности круговых оптических шкал (лимбов).

UR - http://elibrary.ru/item.asp?id=26711965

M3 - Статья

VL - 83

SP - 90

EP - 93

JO - Оптический журнал

JF - Оптический журнал

SN - 1023-5086

IS - 1

ER -