ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗМОЖНОСТИ УМЕНЬШЕНИЯ УГЛОВЫХ ПОГРЕШНОСТЕЙ КРУГОВЫХ ОПТИЧЕСКИХ ШКАЛ, ИЗГОТОВЛЕННЫХ СПОСОБОМ ОБРАТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ

D. Yu. Kruchinin

Результат исследований: Вклад в журнал › Статья

1 Цитирования (Scopus)

Аннотация

Рассмотрены возможности уменьшения угловых погрешностей круговых оптических шкал, изготовленных способом обратной фотолитографии с использованием фотошаблонов, синтезированных с помощью лазерного генератора изображений CLWS-300.
Переведенное названиеStudy of the possibility of reducing the angular errors of circular optical scales fabricated by lift-off photolithography
Язык оригиналаРусский
Страницы (с-по)499-501
Число страниц3
ЖурналJournal of Optical Technology (A Translation of Opticheskii Zhurnal)
Том80
Номер выпуска8
DOI
СостояниеОпубликовано - авг 2013

Предметные области ASJC Scopus

  • Atomic and Molecular Physics, and Optics
  • Engineering(all)
  • Applied Mathematics
  • Computational Mathematics

Предметные области WoS

  • Оптика

ГРНТИ

  • 29.31.00 Оптика

Уровень публикации

  • Перечень ВАК

Ссылки

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗМОЖНОСТИ УМЕНЬШЕНИЯ УГЛОВЫХ ПОГРЕШНОСТЕЙ КРУГОВЫХ ОПТИЧЕСКИХ ШКАЛ, ИЗГОТОВЛЕННЫХ СПОСОБОМ ОБРАТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать