Аннотация
| Переведенное название | Investigation of TiAlSiN Coatings Deposited by Reactive Magnetron Sputtering under High-Current Ion Assistance |
|---|---|
| Язык оригинала | Русский |
| Страницы (с-по) | 106-112 |
| Число страниц | 7 |
| Журнал | Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования |
| Номер выпуска | 6 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - 2017 |
Отпечаток
ГРНТИ
- 29.00.00 ФИЗИКА
Уровень публикации
- Перечень ВАК
Цитировать
}
ИССЛЕДОВАНИЕ ПОКРЫТИЙ TiAlSiN ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ В УСЛОВИЯХ СИЛЬНОТОЧНОГО ИОННОГО АССИСТИРОВАНИЯ. / Гаврилов, Н.В.; Каменецких, А.С.; Чукин, А.В.
В: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, № 6, 2017, стр. 106-112.Результат исследований: Вклад в журнал › Статья › Научно-исследовательская › рецензирование
TY - JOUR
T1 - ИССЛЕДОВАНИЕ ПОКРЫТИЙ TiAlSiN ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ В УСЛОВИЯХ СИЛЬНОТОЧНОГО ИОННОГО АССИСТИРОВАНИЯ
AU - Гаврилов, Н.В.
AU - Каменецких, А.С.
AU - Чукин, А.В.
PY - 2017
Y1 - 2017
N2 - Методом реактивного магнетронного распыления однокомпонентных мишеней с регулируемым в широких пределах (5-25) отношением плотностей тока ионов ] 1 и потока атомов ] 'п на поверхности образцов получены нанокомпозитные покрытия из TiAlSiN. Для генерации плазмы в камере нанесения покрытий использовали широкий (80 см2) пучок низкоэнергетических (100 эВ) электронов. Ток пучка электронов изменялся от 5 до 30 А, что обеспечивало регулировку значения ] 1 в диапазоне от 1.8 до 9 мА/см2. Показано, что увеличение соотношения ji/jn сопровождается немонотонным изменением твердости и текстуры покрытий под действием внутренних напряжений. Установлено, что превышение величины ji/jn, при которой достигается наибольшая твердость покрытий (43 ГПа), приводит к релаксации внутренних напряжений и снижению твердости до 36 ГПа.
AB - Методом реактивного магнетронного распыления однокомпонентных мишеней с регулируемым в широких пределах (5-25) отношением плотностей тока ионов ] 1 и потока атомов ] 'п на поверхности образцов получены нанокомпозитные покрытия из TiAlSiN. Для генерации плазмы в камере нанесения покрытий использовали широкий (80 см2) пучок низкоэнергетических (100 эВ) электронов. Ток пучка электронов изменялся от 5 до 30 А, что обеспечивало регулировку значения ] 1 в диапазоне от 1.8 до 9 мА/см2. Показано, что увеличение соотношения ji/jn сопровождается немонотонным изменением твердости и текстуры покрытий под действием внутренних напряжений. Установлено, что превышение величины ji/jn, при которой достигается наибольшая твердость покрытий (43 ГПа), приводит к релаксации внутренних напряжений и снижению твердости до 36 ГПа.
UR - http://elibrary.ru/item.asp?id=29404688
U2 - 10.7868/80207352817060105
DO - 10.7868/80207352817060105
M3 - Статья
SP - 106
EP - 112
JO - Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
JF - Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
SN - 0207-3528
IS - 6
ER -