Осаждение и травление наноматериалов с использованием высоковакуумного плазмохимического модуля: магистерская диссертация

Результат исследований: Квалификационная работаМагистерская диссертация

Аннотация

Объект изучения – модуль плазмохимического травления и осаждения на базе нанотехнологического комплекса Нанофаб-100.
Цель работы — плазмохимический синтез тонких покрытий на основе нитридов алюминия и титана.
Методы исследования: плазмостимулированное химическое осаждение из газовой фазы, электрохимическое окисление, плазменное азотирование, сканирующая электронная и атомно-силовая микроскопия, оптическая спектроскопия, наноиндентирование.
В результате исследования разработана методика синтеза нитрида алюминия на установке плазмохимического синтеза.
Синтезированы тонкие пленки нитрида алюминия толщиной 50-200 нм. Продемонстрирована возможность получения наноточек нитрида алюминия. С помощью плазмохимического азотирования модифицирована поверхность металлического титана с увеличением твердости в 4 раза. Показана возможность получения нанотубулярных структур нитрида титана, являющихся перспективными в целях создания электронных устройств, фотокаталитических ячеек и др.
Результаты работы отражены в тезисах докладов III Международной молодежной научной конференции «Физика. Технологии. Инновации. ФТИ-2016».
Переведенное названиеDeposition and etching of nanomaterials using a high-vacuum plasmachemical module: Master's thesis
Язык оригиналаРусский
КвалификацияМагистр
Учереждение
  • Уральский федеральный университет
Научный руководитель/консультант
  • Вайнштейн, Илья Александрович, Научный руководитель
СостояниеОпубликовано - 2017

Ключевые слова

  • Электроника и наноэлектроника

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Осаждение и травление наноматериалов с использованием высоковакуумного плазмохимического модуля: магистерская диссертация». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать