РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ В КЕРАМИКЕ НА ОСНОВЕ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ

В работе представлены результаты исследования процессов дефектообразования в керамике AlN под действием облучения ионами Fe+7 с флюенсом от 1 × 1011 до 1 × 1014 ион/см2. Изменение основных кристаллографических характеристик, а также снижение величины критерия Гриффитса и увеличение величины среднего напряжения в результате облучения обусловлено появлением в структуре дополнительных дефектов и их дальнейшей эволюции приводящей к изменению степени кристалличности. Для образцов облученных ионами Fe+7 с дозой 1 × 1011 ион/см2 на поверхности наблюдается образование пирамидообразных холмиков – хиллоков, средняя высота которых составляет 17–20 нм.