РАЗРЯДНАЯ СИСТЕМА С САМОНАКАЛИВАЕМЫМ ПОЛЫМ КАТОДОМ И ИСПАРЯЕМЫМ АНОДОМ В ОСТРОУГОЛЬНОМ МАГНИТНОМ ПОЛЕ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ОКСИДНЫХ ПОКРЫТИЙ

Результат исследований: Вклад в журналСтатьярецензирование

Аннотация

Исследованы свойства разряда с самонакаливаемым полым катодом и испаряемым анодом, помещенными в остроугольное магнитное поле, создаваемое двумя встречно включенными катушками, установленными в области анода и катода. В области кольцевой магнитной щели установлен отрицательно смещенный держатель образцов. Сжатие столба разряда на аноде магнитным полем обеспечивает эффективное испарение металла (алюминий), загружаемого в анод-тигель, изменением тока катодной магнитной катушки регулировалось плотность генерируемой в объеме кислородсодержащей плазмы. Скорость нанесение покрытий из оксида алюминия реактивным анодным испарением в отличие от реактивного магнетронного распыления не ограничена окислением распыляемой мишени, ресурс термоэмиссионного катода составляет сотни часов. Высокая плотность ионного тока из плазмы (до 10 mA/cm2) обеспечивает снижение температуры кристаллизации и формирование нанокристаллических оксидных покрытий. Определены условия стабильного горения разряда с током до 40 А при давлении кислородно-аргоновой смеси 0.1 Pa. Приведены результаты зондовой диагностики параметров плазмы разряда, измерения скорости осаждения, анализа структуры и свойств покрытий из оксида алюминия. -18
Переведенное названиеDischarge System with a Self-Heated Hollow Cathode and an Evaporating Anode in a Cusp Magnetic Field for Oxide Coatings Deposition
Язык оригиналаРусский
Страницы (с-по)861-867
Число страниц7
ЖурналЖурнал технической физики
Том89
Номер выпуска6
DOI
СостояниеОпубликовано - 2019

ГРНТИ

  • 29.00.00 ФИЗИКА

Уровень публикации

  • Перечень ВАК

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «РАЗРЯДНАЯ СИСТЕМА С САМОНАКАЛИВАЕМЫМ ПОЛЫМ КАТОДОМ И ИСПАРЯЕМЫМ АНОДОМ В ОСТРОУГОЛЬНОМ МАГНИТНОМ ПОЛЕ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ОКСИДНЫХ ПОКРЫТИЙ». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать