РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ: патент на изобретение

Аскольд Рафаилович Бекетов (Изобретатель), Михаил Владимирович Баранов (Изобретатель), Роман Александрович Шишкин (Изобретатель), Андрей Александрович Елагин (Изобретатель), Валерия Сергеевна Кудякова (Изобретатель), Юрий Дмитриевич Афонин (Изобретатель)

Результат исследований: Патент › Научно-исследовательская

Аннотация

Изобретение относится к составным частям устройств для получения полупроводниковых материалов, а именно дисперсного нитрида алюминия. Реакционная камера выполнена из жаропрочной стали, футерована нитридом алюминия, снабжена герметично соединенными с корпусом камеры средством для отвода газов и гибким трубопроводом, который выполнен с возможностью герметичного соединения со средством подачи азотсодержащих газов, и снабжена устройством нагрева, выполненным с возможностью создания градиента температуры вдоль реакционной камеры. При этом камера расположена вертикально и выполнена разъемной с образованием нижней, средней и верхней секций. Нижняя и средняя секции разделены перфорированной перегородкой, а средняя и верхняя секции разделены фильтром. Технический результат заключается в повышении выхода нитрида алюминия, снижении интенсивности процесса агломерации и уменьшении времени и энергозатрат на процесс образования нитрида алюминия.
Переведенное названиеREACTION INSTALLATION CAMERA FOR PRODUCING DISPERSED ALUMINIUM NITRIDE: patent of invention
Язык оригиналаРусский
Номер патента2631076
IPCC01B 21/072,B82Y 40/00
Дата подачи заявки29/09/2014
СостояниеОпубликовано - 18 сен 2017

Отпечаток

aluminum
agglomeration
gas
temperature gradient
steel
filter
heating
nitrogen
patent
energy consumption

ГРНТИ

  • 45.00.00 ЭЛЕКТРОТЕХНИКА

Цитировать

Бекетов, Аскольд Рафаилович (Изобретатель) ; Баранов, Михаил Владимирович (Изобретатель) ; Шишкин, Роман Александрович (Изобретатель) ; Елагин, Андрей Александрович (Изобретатель) ; Кудякова, Валерия Сергеевна (Изобретатель) ; Афонин, Юрий Дмитриевич (Изобретатель). / РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ : патент на изобретение. Федеральный институт промышленной собственности. IPC №: C01B 21/072, B82Y 40/00. Патент №: 2631076 . сен 29, 2014.
@misc{350face4ce1445d8b33636bee7e1ae29,
title = "РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ: патент на изобретение",
abstract = "Изобретение относится к составным частям устройств для получения полупроводниковых материалов, а именно дисперсного нитрида алюминия. Реакционная камера выполнена из жаропрочной стали, футерована нитридом алюминия, снабжена герметично соединенными с корпусом камеры средством для отвода газов и гибким трубопроводом, который выполнен с возможностью герметичного соединения со средством подачи азотсодержащих газов, и снабжена устройством нагрева, выполненным с возможностью создания градиента температуры вдоль реакционной камеры. При этом камера расположена вертикально и выполнена разъемной с образованием нижней, средней и верхней секций. Нижняя и средняя секции разделены перфорированной перегородкой, а средняя и верхняя секции разделены фильтром. Технический результат заключается в повышении выхода нитрида алюминия, снижении интенсивности процесса агломерации и уменьшении времени и энергозатрат на процесс образования нитрида алюминия.",
author = "Бекетов, {Аскольд Рафаилович} and Баранов, {Михаил Владимирович} and Шишкин, {Роман Александрович} and Елагин, {Андрей Александрович} and Кудякова, {Валерия Сергеевна} and Афонин, {Юрий Дмитриевич}",
year = "2017",
month = "9",
day = "18",
language = "Русский",
publisher = "Федеральный институт промышленной собственности",
address = "Российская Федерация",
type = "Patent",
note = "2631076 ; C01B 21/072,B82Y 40/00",

}

Бекетов, АР, Баранов, МВ, Шишкин, РА, Елагин, АА, Кудякова, ВС & Афонин, ЮД сен. 29 2014, РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ: патент на изобретение, Патент № 2631076 , IPC № C01B 21/072, B82Y 40/00.

РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ : патент на изобретение. / Бекетов, Аскольд Рафаилович (Изобретатель); Баранов, Михаил Владимирович (Изобретатель); Шишкин, Роман Александрович (Изобретатель); Елагин, Андрей Александрович (Изобретатель); Кудякова, Валерия Сергеевна (Изобретатель); Афонин, Юрий Дмитриевич (Изобретатель).

Федеральный институт промышленной собственности. IPC №: C01B 21/072, B82Y 40/00. Патент №: 2631076 . сен 29, 2014.

Результат исследований: Патент › Научно-исследовательская

TY - PAT

T1 - РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ

T2 - патент на изобретение

AU - Бекетов, Аскольд Рафаилович

AU - Баранов, Михаил Владимирович

AU - Шишкин, Роман Александрович

AU - Елагин, Андрей Александрович

AU - Кудякова, Валерия Сергеевна

AU - Афонин, Юрий Дмитриевич

PY - 2017/9/18

Y1 - 2017/9/18

N2 - Изобретение относится к составным частям устройств для получения полупроводниковых материалов, а именно дисперсного нитрида алюминия. Реакционная камера выполнена из жаропрочной стали, футерована нитридом алюминия, снабжена герметично соединенными с корпусом камеры средством для отвода газов и гибким трубопроводом, который выполнен с возможностью герметичного соединения со средством подачи азотсодержащих газов, и снабжена устройством нагрева, выполненным с возможностью создания градиента температуры вдоль реакционной камеры. При этом камера расположена вертикально и выполнена разъемной с образованием нижней, средней и верхней секций. Нижняя и средняя секции разделены перфорированной перегородкой, а средняя и верхняя секции разделены фильтром. Технический результат заключается в повышении выхода нитрида алюминия, снижении интенсивности процесса агломерации и уменьшении времени и энергозатрат на процесс образования нитрида алюминия.

AB - Изобретение относится к составным частям устройств для получения полупроводниковых материалов, а именно дисперсного нитрида алюминия. Реакционная камера выполнена из жаропрочной стали, футерована нитридом алюминия, снабжена герметично соединенными с корпусом камеры средством для отвода газов и гибким трубопроводом, который выполнен с возможностью герметичного соединения со средством подачи азотсодержащих газов, и снабжена устройством нагрева, выполненным с возможностью создания градиента температуры вдоль реакционной камеры. При этом камера расположена вертикально и выполнена разъемной с образованием нижней, средней и верхней секций. Нижняя и средняя секции разделены перфорированной перегородкой, а средняя и верхняя секции разделены фильтром. Технический результат заключается в повышении выхода нитрида алюминия, снижении интенсивности процесса агломерации и уменьшении времени и энергозатрат на процесс образования нитрида алюминия.

UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=38287116

M3 - Патент

M1 - 2631076

Y2 - 2014/09/29

PB - Федеральный институт промышленной собственности

ER -

Бекетов АР, Баранов МВ, Шишкин РА, Елагин АА, Кудякова ВС, Афонин ЮД, авторы изобретения. РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ: патент на изобретение. C01B 21/072, B82Y 40/00. 2017 Сент. 18.

Ссылки