РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ: патент на изобретение

Результат исследований: Патент

Аннотация

Изобретение относится к составным частям устройств для получения полупроводниковых материалов, а именно дисперсного нитрида алюминия. Реакционная камера выполнена из жаропрочной стали, футерована нитридом алюминия, снабжена герметично соединенными с корпусом камеры средством для отвода газов и гибким трубопроводом, который выполнен с возможностью герметичного соединения со средством подачи азотсодержащих газов, и снабжена устройством нагрева, выполненным с возможностью создания градиента температуры вдоль реакционной камеры. При этом камера расположена вертикально и выполнена разъемной с образованием нижней, средней и верхней секций. Нижняя и средняя секции разделены перфорированной перегородкой, а средняя и верхняя секции разделены фильтром. Технический результат заключается в повышении выхода нитрида алюминия, снижении интенсивности процесса агломерации и уменьшении времени и энергозатрат на процесс образования нитрида алюминия.
Переведенное названиеREACTION INSTALLATION CAMERA FOR PRODUCING DISPERSED ALUMINIUM NITRIDE: patent of invention
Язык оригиналаРусский
Номер патента2631076
IPCC01B 21/072,B82Y 40/00
Дата подачи заявки29/09/2014
СостояниеОпубликовано - 18 сен 2017

ГРНТИ

  • 45.00.00 ЭЛЕКТРОТЕХНИКА

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ: патент на изобретение». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать