РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ: патент на изобретение

Аскольд Рафаилович Бекетов; Михаил Владимирович Баранов; Роман Александрович Шишкин; Андрей Александрович Елагин; Валерия Сергеевна Кудякова; Юрий Дмитриевич Афонин

РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ: патент на изобретение

Аскольд Рафаилович Бекетов (Изобретатель), Михаил Владимирович Баранов (Изобретатель), Роман Александрович Шишкин (Изобретатель), Андрей Александрович Елагин (Изобретатель), Валерия Сергеевна Кудякова (Изобретатель), Юрий Дмитриевич Афонин (Изобретатель)

Результат исследований: Патент

Аннотация

Изобретение относится к составным частям устройств для получения полупроводниковых материалов, а именно дисперсного нитрида алюминия. Реакционная камера выполнена из жаропрочной стали, футерована нитридом алюминия, снабжена герметично соединенными с корпусом камеры средством для отвода газов и гибким трубопроводом, который выполнен с возможностью герметичного соединения со средством подачи азотсодержащих газов, и снабжена устройством нагрева, выполненным с возможностью создания градиента температуры вдоль реакционной камеры. При этом камера расположена вертикально и выполнена разъемной с образованием нижней, средней и верхней секций. Нижняя и средняя секции разделены перфорированной перегородкой, а средняя и верхняя секции разделены фильтром. Технический результат заключается в повышении выхода нитрида алюминия, снижении интенсивности процесса агломерации и уменьшении времени и энергозатрат на процесс образования нитрида алюминия.

Переведенное название	REACTION INSTALLATION CAMERA FOR PRODUCING DISPERSED ALUMINIUM NITRIDE: patent of invention
Язык оригинала	Русский
Номер патента	2631076
IPC	C01B 21/072,B82Y 40/00
Дата подачи заявки	29/09/2014
Состояние	Опубликовано - 18 сен 2017

ГРНТИ

45.00.00 ЭЛЕКТРОТЕХНИКА

Ссылки

Другие файлы и ссылки

https://elibrary.ru/item.asp?id=38287116

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ: патент на изобретение». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать

Бекетов, А. Р., Баранов, М. В., Шишкин, Р. А., Елагин, А. А., Кудякова, В. С., & Афонин, Ю. Д. (2017). РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ: патент на изобретение. (Патент № 2631076). Федеральный институт промышленной собственности. http://www1.fips.ru/fips_servl/fips_servlet?DB=RUPAT&DocNumber=2631076&TypeFile=html

Бекетов, Аскольд Рафаилович (Изобретатель) ; Баранов, Михаил Владимирович (Изобретатель) ; Шишкин, Роман Александрович (Изобретатель) ; Елагин, Андрей Александрович (Изобретатель) ; Кудякова, Валерия Сергеевна (Изобретатель) ; Афонин, Юрий Дмитриевич (Изобретатель). / РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ : патент на изобретение. Федеральный институт промышленной собственности. Патент №: 2631076. сен 18, 2017.

@misc{350face4ce1445d8b33636bee7e1ae29,

title = "РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ: патент на изобретение",

abstract = "Изобретение относится к составным частям устройств для получения полупроводниковых материалов, а именно дисперсного нитрида алюминия. Реакционная камера выполнена из жаропрочной стали, футерована нитридом алюминия, снабжена герметично соединенными с корпусом камеры средством для отвода газов и гибким трубопроводом, который выполнен с возможностью герметичного соединения со средством подачи азотсодержащих газов, и снабжена устройством нагрева, выполненным с возможностью создания градиента температуры вдоль реакционной камеры. При этом камера расположена вертикально и выполнена разъемной с образованием нижней, средней и верхней секций. Нижняя и средняя секции разделены перфорированной перегородкой, а средняя и верхняя секции разделены фильтром. Технический результат заключается в повышении выхода нитрида алюминия, снижении интенсивности процесса агломерации и уменьшении времени и энергозатрат на процесс образования нитрида алюминия.",

author = "Бекетов, {Аскольд Рафаилович} and Баранов, {Михаил Владимирович} and Шишкин, {Роман Александрович} and Елагин, {Андрей Александрович} and Кудякова, {Валерия Сергеевна} and Афонин, {Юрий Дмитриевич}",

year = "2017",

month = sep,

day = "18",

language = "Русский",

publisher = "Федеральный институт промышленной собственности",

address = "Российская Федерация",

type = "Patent",

note = "2631076; C01B 21/072,B82Y 40/00",

}

Бекетов, АР , Баранов, МВ , Шишкин, РА , Елагин, АА , Кудякова, ВС & Афонин, ЮД сен. 18 2017, РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ: патент на изобретение, Патент № 2631076. <http://www1.fips.ru/fips_servl/fips_servlet?DB=RUPAT&DocNumber=2631076&TypeFile=html>

РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ : патент на изобретение. / Бекетов, Аскольд Рафаилович (Изобретатель); Баранов, Михаил Владимирович (Изобретатель); Шишкин, Роман Александрович (Изобретатель); Елагин, Андрей Александрович (Изобретатель); Кудякова, Валерия Сергеевна (Изобретатель); Афонин, Юрий Дмитриевич (Изобретатель).

Федеральный институт промышленной собственности. Патент №: 2631076. сен 18, 2017.

Результат исследований: Патент

TY - PAT

T1 - РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ

T2 - патент на изобретение

AU - Бекетов, Аскольд Рафаилович

AU - Баранов, Михаил Владимирович

AU - Шишкин, Роман Александрович

AU - Елагин, Андрей Александрович

AU - Кудякова, Валерия Сергеевна

AU - Афонин, Юрий Дмитриевич

PY - 2017/9/18

Y1 - 2017/9/18

N2 - Изобретение относится к составным частям устройств для получения полупроводниковых материалов, а именно дисперсного нитрида алюминия. Реакционная камера выполнена из жаропрочной стали, футерована нитридом алюминия, снабжена герметично соединенными с корпусом камеры средством для отвода газов и гибким трубопроводом, который выполнен с возможностью герметичного соединения со средством подачи азотсодержащих газов, и снабжена устройством нагрева, выполненным с возможностью создания градиента температуры вдоль реакционной камеры. При этом камера расположена вертикально и выполнена разъемной с образованием нижней, средней и верхней секций. Нижняя и средняя секции разделены перфорированной перегородкой, а средняя и верхняя секции разделены фильтром. Технический результат заключается в повышении выхода нитрида алюминия, снижении интенсивности процесса агломерации и уменьшении времени и энергозатрат на процесс образования нитрида алюминия.

AB - Изобретение относится к составным частям устройств для получения полупроводниковых материалов, а именно дисперсного нитрида алюминия. Реакционная камера выполнена из жаропрочной стали, футерована нитридом алюминия, снабжена герметично соединенными с корпусом камеры средством для отвода газов и гибким трубопроводом, который выполнен с возможностью герметичного соединения со средством подачи азотсодержащих газов, и снабжена устройством нагрева, выполненным с возможностью создания градиента температуры вдоль реакционной камеры. При этом камера расположена вертикально и выполнена разъемной с образованием нижней, средней и верхней секций. Нижняя и средняя секции разделены перфорированной перегородкой, а средняя и верхняя секции разделены фильтром. Технический результат заключается в повышении выхода нитрида алюминия, снижении интенсивности процесса агломерации и уменьшении времени и энергозатрат на процесс образования нитрида алюминия.

UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=38287116

M3 - Патент

M1 - 2631076

Y2 - 2014/09/29

PB - Федеральный институт промышленной собственности

ER -