Аннотация
Изобретение относится к составным частям устройств для получения полупроводниковых материалов, а именно дисперсного нитрида алюминия. Реакционная камера выполнена из жаропрочной стали, футерована нитридом алюминия, снабжена герметично соединенными с корпусом камеры средством для отвода газов и гибким трубопроводом, который выполнен с возможностью герметичного соединения со средством подачи азотсодержащих газов, и снабжена устройством нагрева, выполненным с возможностью создания градиента температуры вдоль реакционной камеры. При этом камера расположена вертикально и выполнена разъемной с образованием нижней, средней и верхней секций. Нижняя и средняя секции разделены перфорированной перегородкой, а средняя и верхняя секции разделены фильтром. Технический результат заключается в повышении выхода нитрида алюминия, снижении интенсивности процесса агломерации и уменьшении времени и энергозатрат на процесс образования нитрида алюминия.
Переведенное название | REACTION INSTALLATION CAMERA FOR PRODUCING DISPERSED ALUMINIUM NITRIDE: patent of invention |
---|---|
Язык оригинала | Русский |
Номер патента | 2631076 |
IPC | C01B 21/072,B82Y 40/00 |
Дата подачи заявки | 29/09/2014 |
Состояние | Опубликовано - 18 сент. 2017 |
ГРНТИ
- 45.00.00 ЭЛЕКТРОТЕХНИКА