СКОРОСТЬ РАСПЫЛЕНИЯ МЕТАЛЛОВ В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ ПОСТОЯННОГО ТОКА, ИСПОЛЬЗУЕМОМ В АТОМНО-ЭМИССИОННОЙ СПЕКТРОМЕТРИИ

Результат исследований: Вклад в журналСтатья

Аннотация

Численные значения скорости катодного распыления материалов необходимы для проведения послойного анализа и получения мультиматричных градуировочных зависимостей в методе атомно-эмиссионной спектрометрии с тлеющим разрядом. В работе измерены скорости катодного распыления в тлеющем разряде постоянного тока для 26 элементов. Сопоставление с опубликованными данными показало хорошую согласованность результатов и подтвердило необходимость проведения таких измерений для конкретных условий анализа. Установлено, что значение скорости катодного распыления элементов сложным образом зависит от их физико-химических характеристик. Рассмотрена связь скоростей катодного распыления с различными физико-химическими свойствами элементов: атомным номером, атомной массой, температурами плавления и кипения, энергией сублимации и энергией кристаллической решетки. Показана периодическая зависимость значений скорости распыления элементов от их атомного номера и атомной массы, что подтверждается литературными данными. В соответствии с теорией распыления твердых тел П. Зигмунда и полуэмпирическим уравнением коэффициента распыления установлено, что скорость катодного распыления материала зависит от его энергии сублимации, т.е. определяется в первую очередь значениями его атомного радиуса, температуры плавления и плотности. Найденная взаимосвязь подтверждена статистическими расчетами методами линейной и нелинейной регрессии. Полученная зависимость скорости катодного распыления от физико-химических характеристик металла позволяет прогнозировать значение скорости распыления материала, выявлять ошибочные измерения, оценивать границы применимости метода анализа.
Переведенное названиеTHE SPUTTERING RATE OF ELEMENTS IN DC GLOW DISCHARGE, USED IN ATOMIC EMISSION SPECTROMETRY
Язык оригиналаРусский
Страницы (с-по)230-241
Число страниц12
ЖурналАналитика и контроль
Том19
Номер выпуска3
DOI
СостояниеОпубликовано - 2015

ГРНТИ

  • 29.31.00 Оптика

Уровень публикации

  • Перечень ВАК

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «СКОРОСТЬ РАСПЫЛЕНИЯ МЕТАЛЛОВ В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ ПОСТОЯННОГО ТОКА, ИСПОЛЬЗУЕМОМ В АТОМНО-ЭМИССИОННОЙ СПЕКТРОМЕТРИИ». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать