Аннотация
В учебном пособии рассмотрены физико-химические принципы организации нанесения тонких пленок и покрытий, способы нанесения пленок с использованием как физических, так и химических технологий, методы определения толщин, фазового состава и функциональных свойств пленок халькогенидов металлов и области их применения в электронной технике и альтернативной энергетике. Адресовано бакалаврам и магистрам, обучающимся по направлению 18.03.01 «Химическая технология»; может быть полезно студентам, специализирующимся в области химической технологии материалов и изделий электронной техники, а также инженерам и научным работникам, деятельность которых связана с получением и исследованием тонкопленочных, функциональных материалов для микро- и оптоэлектроники.
Язык оригинала | Русский |
---|---|
Место публикации | Екатеринбург |
Издатель | Издательство Уральского университета |
Число страниц | 236 |
ISBN (печатное издание) | 978-5-7996-2560-3 |
Состояние | Опубликовано - 2019 |
ГРНТИ
- 61.01.00 Общие вопросы химической технологии и химической промышленности
Уровень публикации
- Рекомендовано УМС УрФУ