Технология тонких пленок и покрытий: учебное пособие

Результат исследований: Книга/отчетУчебное издание

Аннотация

В учебном пособии рассмотрены физико-химические принципы организации нанесения тонких пленок и покрытий, способы нанесения пленок с использованием как физических, так и химических технологий, методы определения толщин, фазового состава и функциональных свойств пленок халькогенидов металлов и области их применения в электронной технике и альтернативной энергетике. Адресовано бакалаврам и магистрам, обучающимся по направлению 18.03.01 «Химическая технология»; может быть полезно студентам, специализирующимся в области химической технологии материалов и изделий электронной техники, а также инженерам и научным работникам, деятельность которых связана с получением и исследованием тонкопленочных, функциональных материалов для микро- и оптоэлектроники.
Язык оригиналаРусский
Место публикацииЕкатеринбург
ИздательИздательство Уральского университета
Число страниц236
ISBN (печатное издание)978-5-7996-2560-3
СостояниеОпубликовано - 2019

ГРНТИ

  • 61.01.00 Общие вопросы химической технологии и химической промышленности

Уровень публикации

  • Рекомендовано УМС УрФУ

Цитировать