Устройство для получения пленок: патент на изобретение

Результат исследований: Патент

Аннотация

Изобретение относится к области ионно-плазменного напыления многослойных пленок, в частности к устройству для получения многослойных пленок. Устройство содержит экранированную катод-мишень и подложкодержатель, расположенный в горизонтальном магнитном поле. При распылении центр подложки перемещают вращением от центра одного отверстия с распыляемым материалом к другому посредством воздействия управляемого программой шагового двигателя, при этом конечные положения над мишенью устанавливают при совпадении с установленными датчиками положения. При этом положение (открывание или закрывание) заслонки определяют воздействием другого управляемого двигателя. Технический результат - получение идентичных многослойных пленок с различными свойствами слоев и расширение технологических возможностей.
Переведенное названиеDEVICE FOR PRODUCING FILMS: patent of invention
Язык оригиналаРусский
Номер патента2669259
IPCC23C 14/34,C23C 14/04,C23C 14/54
Дата подачи заявки09/12/2016
СостояниеОпубликовано - 9 окт 2018

ГРНТИ

  • 29.19.00 Физика твердых тел

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Устройство для получения пленок: патент на изобретение». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать