Устройство для получения пленок: патент на изобретение

Изобретение относится к области ионно-плазменного напыления многослойных пленок, в частности к устройству для получения многослойных пленок. Устройство содержит экранированную катод-мишень и подложкодержатель, расположенный в горизонтальном магнитном поле. При распылении центр подложки перемещают вращением от центра одного отверстия с распыляемым материалом к другому посредством воздействия управляемого программой шагового двигателя, при этом конечные положения над мишенью устанавливают при совпадении с установленными датчиками положения. При этом положение (открывание или закрывание) заслонки определяют воздействием другого управляемого двигателя. Технический результат - получение идентичных многослойных пленок с различными свойствами слоев и расширение технологических возможностей.