A study of the effect of the use of immersion fluid on the angular errors in dials fabricated by lift-off photolithography

Результат исследований: Вклад в журналСтатья

Язык оригиналаАнглийский
Страницы (с-по)69-71
Число страниц3
ЖурналJournal of Optical Technology (A Translation of Opticheskii Zhurnal)
Том83
Номер выпуска1
DOI
СостояниеОпубликовано - 1 янв 2016

Предметные области ASJC Scopus

  • Atomic and Molecular Physics, and Optics
  • Engineering(all)
  • Applied Mathematics
  • Computational Mathematics

Предметные области WoS

  • Оптика

Уровень публикации

  • Перечень ВАК

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «A study of the effect of the use of immersion fluid on the angular errors in dials fabricated by lift-off photolithography». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать