BN coatings deposition by magnetron sputtering of B and BN targets in electron beam generated plasma

A. S. Kamenetskikh, N. V. Gavrilov, O. V. Koryakova, S. O. Cholakh

Результат исследований: Вклад в журналСтатьяНаучно-исследовательскаярецензирование

1 цитирование (Scopus)
Язык оригиналаАнглийский
Номер статьи012017
ЖурналJournal of Physics: Conference Series
Том857
Номер выпуска1
DOI
СостояниеОпубликовано - 1 июн 2017

Отпечаток

magnetron sputtering
electron beams
coatings
boron nitrides
ion currents
current density

Предметные области ASJC Scopus

  • Physics and Astronomy(all)

Предметные области WoS

  • Материаловедение, Покрытия и пленки
  • Физика, Прикладная

Цитировать

@article{2d1465ae0f5b4af384935219ed130939,
title = "BN coatings deposition by magnetron sputtering of B and BN targets in electron beam generated plasma",
author = "Kamenetskikh, {A. S.} and Gavrilov, {N. V.} and Koryakova, {O. V.} and Cholakh, {S. O.}",
year = "2017",
month = "6",
day = "1",
doi = "10.1088/1742-6596/857/1/012017",
language = "English",
volume = "857",
journal = "Journal of Physics: Conference Series",
issn = "1742-6588",
publisher = "Institute of Physics Publishing",
number = "1",

}

BN coatings deposition by magnetron sputtering of B and BN targets in electron beam generated plasma. / Kamenetskikh, A. S.; Gavrilov, N. V.; Koryakova, O. V.; Cholakh, S. O.

В: Journal of Physics: Conference Series, Том 857, № 1, 012017, 01.06.2017.

Результат исследований: Вклад в журналСтатьяНаучно-исследовательскаярецензирование

TY - JOUR

T1 - BN coatings deposition by magnetron sputtering of B and BN targets in electron beam generated plasma

AU - Kamenetskikh, A. S.

AU - Gavrilov, N. V.

AU - Koryakova, O. V.

AU - Cholakh, S. O.

PY - 2017/6/1

Y1 - 2017/6/1

UR - http://www.scopus.com/inward/record.url?scp=85021327746&partnerID=8YFLogxK

UR - https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=tsmetrics&SrcApp=tsm_test&DestApp=WOS_CPL&DestLinkType=FullRecord&KeyUT=000412709600017

U2 - 10.1088/1742-6596/857/1/012017

DO - 10.1088/1742-6596/857/1/012017

M3 - Article

VL - 857

JO - Journal of Physics: Conference Series

JF - Journal of Physics: Conference Series

SN - 1742-6588

IS - 1

M1 - 012017

ER -