Bound oxygen influence on the phase composition and electrical properties of semi-insulating silicon films

Vladimir A. Terekhov, Dmitriy N. Nesterov, Konstantin A. Barkov, Evelina P. Domashevskaya, Aleksandr V. Konovalov, Yuriy L. Fomenko, Pavel V. Seredin, Dmitry L. Goloshchapov, Anatoliy I. Popov, Aleksey D. Barinov, Vyacheslav M. Andreeshchev, Igor E. Zanin, Sergey A. Ivkov, Oksana E. Loktionova

Результат исследований: Вклад в журналСтатья

Язык оригиналаАнглийский
Номер статьи105287
ЖурналMaterials Science in Semiconductor Processing
Том121
DOI
СостояниеОпубликовано - янв 2021

Предметные области ASJC Scopus

  • Materials Science(all)
  • Condensed Matter Physics
  • Mechanics of Materials
  • Mechanical Engineering

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Bound oxygen influence on the phase composition and electrical properties of semi-insulating silicon films». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

  • Цитировать

    Terekhov, V. A., Nesterov, D. N., Barkov, K. A., Domashevskaya, E. P., Konovalov, A. V., Fomenko, Y. L., ... Loktionova, O. E. (2021). Bound oxygen influence on the phase composition and electrical properties of semi-insulating silicon films. Materials Science in Semiconductor Processing, 121, [105287]. https://doi.org/10.1016/j.mssp.2020.105287