Influence of He-ion irradiation of ceramic AlN

A. Kozlovskiy, I. Kenzhina, K. Dukenbayev, M. Zdorovets

Результат исследований: Вклад в журналСтатья

15 Цитирования (Scopus)
Язык оригиналаАнглийский
Страницы (с-по)45-51
Число страниц7
ЖурналVacuum
Том163
DOI
СостояниеОпубликовано - 1 мая 2019

Предметные области ASJC Scopus

  • Instrumentation
  • Condensed Matter Physics
  • Surfaces, Coatings and Films

Предметные области WoS

  • Материаловедение, Междисциплинарные труды
  • Физика, Прикладная

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Influence of He-ion irradiation of ceramic AlN». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать