Investigation of a New Method of the Organosilicon Compounds Activation by a Low-energy Electron Beam for SiCN-coatings Deposition

Результат исследований: Вклад в журналСтатья

Язык оригиналаАнглийский
Страницы (с-по)38-40
Число страниц3
Журналe-Journal of Surface Science and Nanotechnology
Том18
DOI
СостояниеОпубликовано - 29 фев 2020

Предметные области WoS

  • Нанотехнологии

Цитировать