Investigation of a New Method of the Organosilicon Compounds Activation by a Low-energy Electron Beam for SiCN-coatings Deposition

Результат исследований: Вклад в журналСтатьярецензирование

1 Цитирования (Scopus)
Язык оригиналаАнглийский
Страницы (с-по)38-40
Число страниц3
Журналe-Journal of Surface Science and Nanotechnology
Том18
DOI
СостояниеОпубликовано - 29 фев 2020

Предметные области WoS

  • Нанотехнологии

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Investigation of a New Method of the Organosilicon Compounds Activation by a Low-energy Electron Beam for SiCN-coatings Deposition». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать