INVESTIGATION OF THE INFLUENCE OF ETCH PROCESS UPON THE MORPHOLOGY OF THE POROUS SILICON PARTICLES

Лев Викторович Шайдаров, Андрей Валерьевич Третьяков, Кристина Александровна Беспалова, Антон Орестович Белорус

Результат исследований: Вклад в журналСтатья

Аннотация

Рассмотрены свойства пористого кремния применительно к биомедицине, получение порошков пористого кремния методом электрохимического анодного травления, а также влияние технологических параметров этого процесса на морфологию получаемых частиц.
Язык оригиналаРусский
Страницы (с-по)10-13
Число страниц4
ЖурналИзвестия СПбГЭТУ ЛЭТИ
Том7
СостояниеОпубликовано - 2015

ГРНТИ

  • 47.00.00 ЭЛЕКТРОНИКА. РАДИОТЕХНИКА

Уровень публикации

  • Перечень ВАК

Цитировать