INVESTIGATION OF THE INFLUENCE OF ETCH PROCESS UPON THE MORPHOLOGY OF THE POROUS SILICON PARTICLES

Лев Викторович Шайдаров; Андрей Валерьевич Третьяков; Кристина Александровна Беспалова; Антон Орестович Белорус

INVESTIGATION OF THE INFLUENCE OF ETCH PROCESS UPON THE MORPHOLOGY OF THE POROUS SILICON PARTICLES

Лев Викторович Шайдаров, Андрей Валерьевич Третьяков, Кристина Александровна Беспалова, Антон Орестович Белорус

Результат исследований: Вклад в журнал › Статья

Аннотация

Рассмотрены свойства пористого кремния применительно к биомедицине, получение порошков пористого кремния методом электрохимического анодного травления, а также влияние технологических параметров этого процесса на морфологию получаемых частиц.

Язык оригинала	Русский
Страницы (с-по)	10-13
Число страниц	4
Журнал	Известия СПбГЭТУ ЛЭТИ
Том	7
Состояние	Опубликовано - 2015

ГРНТИ

47.00.00 ЭЛЕКТРОНИКА. РАДИОТЕХНИКА

Уровень публикации

Перечень ВАК

Ссылки

https://elibrary.ru/item.asp?id=25351698

Цитировать

Шайдаров, Лев Викторович ; Третьяков, Андрей Валерьевич ; Беспалова, Кристина Александровна ; Белорус, Антон Орестович. / INVESTIGATION OF THE INFLUENCE OF ETCH PROCESS UPON THE MORPHOLOGY OF THE POROUS SILICON PARTICLES. В: Известия СПбГЭТУ ЛЭТИ. 2015 ; Том 7. стр. 10-13.

@article{655b0f2d29ed4f9aba6876e0b66d9f88,

title = "INVESTIGATION OF THE INFLUENCE OF ETCH PROCESS UPON THE MORPHOLOGY OF THE POROUS SILICON PARTICLES",

abstract = "Рассмотрены свойства пористого кремния применительно к биомедицине, получение порошков пористого кремния методом электрохимического анодного травления, а также влияние технологических параметров этого процесса на морфологию получаемых частиц.",

author = "Шайдаров, {Лев Викторович} and Третьяков, {Андрей Валерьевич} and Беспалова, {Кристина Александровна} and Белорус, {Антон Орестович}",

year = "2015",

language = "Русский",

volume = "7",

pages = "10--13",

journal = "Известия СПбГЭТУ ЛЭТИ",

issn = "2071-8985",

publisher = "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет ЛЭТИ им. В.И. Ульянова (Ленина)",

}

INVESTIGATION OF THE INFLUENCE OF ETCH PROCESS UPON THE MORPHOLOGY OF THE POROUS SILICON PARTICLES. / Шайдаров, Лев Викторович; Третьяков, Андрей Валерьевич; Беспалова, Кристина Александровна; Белорус, Антон Орестович.

В: Известия СПбГЭТУ ЛЭТИ, Том 7, 2015, стр. 10-13.

Результат исследований: Вклад в журнал › Статья

TY - JOUR

T1 - INVESTIGATION OF THE INFLUENCE OF ETCH PROCESS UPON THE MORPHOLOGY OF THE POROUS SILICON PARTICLES

AU - Шайдаров, Лев Викторович

AU - Третьяков, Андрей Валерьевич

AU - Беспалова, Кристина Александровна

AU - Белорус, Антон Орестович

PY - 2015

Y1 - 2015

N2 - Рассмотрены свойства пористого кремния применительно к биомедицине, получение порошков пористого кремния методом электрохимического анодного травления, а также влияние технологических параметров этого процесса на морфологию получаемых частиц.

AB - Рассмотрены свойства пористого кремния применительно к биомедицине, получение порошков пористого кремния методом электрохимического анодного травления, а также влияние технологических параметров этого процесса на морфологию получаемых частиц.

UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=25351698

M3 - Статья

VL - 7

SP - 10

EP - 13

JO - Известия СПбГЭТУ ЛЭТИ

JF - Известия СПбГЭТУ ЛЭТИ

SN - 2071-8985

ER -