Low-energy electron beam application for SiCN-based coatings deposition

Результат исследований: Глава в книге, отчете, сборнике статейМатериалы конференции

Язык оригиналаАнглийский
Название основной публикацииPhysics, Technologies and Innovation, PTI 2019
Подзаголовок основной публикацииProceedings of the VI International Young Researchers Conference
РедакторыVladimir A. Volkovich, Sergey V. Zvonarev, Ilya V. Kashin, Andrey A. Smirnov, Evgeniy D. Narkhov
ИздательAmerican Institute of Physics Inc.
ISBN (электронное издание)9780735419216
DOI
СостояниеОпубликовано - 6 дек 2019
Событие6th International Young Researchers'' Conference on Physics, Technologies and Innovation, PTI 2019 - Ekaterinburg, Российская Федерация
Продолжительность: 20 мая 201923 мая 2019

Серия публикаций

НазваниеAIP Conference Proceedings
Том2174
ISSN (печатное издание)0094-243X
ISSN (электронное издание)1551-7616

Конференция

Конференция6th International Young Researchers'' Conference on Physics, Technologies and Innovation, PTI 2019
СтранаРоссийская Федерация
ГородEkaterinburg
Период20/05/201923/05/2019

Предметные области ASJC Scopus

  • Physics and Astronomy(all)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Low-energy electron beam application for SiCN-based coatings deposition». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

  • Цитировать

    Dmitriev, A. S., & Menshakov, A. I. (2019). Low-energy electron beam application for SiCN-based coatings deposition. В V. A. Volkovich, S. V. Zvonarev, I. V. Kashin, A. A. Smirnov, & E. D. Narkhov (Ред.), Physics, Technologies and Innovation, PTI 2019: Proceedings of the VI International Young Researchers Conference [020095] (AIP Conference Proceedings; Том 2174). American Institute of Physics Inc.. https://doi.org/10.1063/1.5134246