Modification of TiNx coatings in the course of deposition by periodic electron beam stimulation of N2/Ar medium

Daniil Emlin, Andrey Chukin, Nikolay Gavrilov, Alexander Kamenetskikh, Alexey Ershov

Результат исследований: Глава в книге, отчете, сборнике статейМатериалы конференциирецензирование

Язык оригиналаАнглийский
Название основной публикацииProceedings - 2020 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020
ИздательInstitute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
Страницы538-543
Число страниц6
ISBN (электронное издание)9781728126869
DOI
СостояниеОпубликовано - 14 сент. 2020
Событие7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020 - Virtual, Tomsk, Российская Федерация
Продолжительность: 14 сент. 202026 сент. 2020

Серия публикаций

НазваниеProceedings - 2020 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020

Конференция

Конференция7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020
Страна/TерриторияРоссийская Федерация
ГородVirtual, Tomsk
Период14/09/202026/09/2020

Предметные области ASJC Scopus

  • Electrical and Electronic Engineering
  • Energy Engineering and Power Technology

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Modification of TiNx coatings in the course of deposition by periodic electron beam stimulation of N2/Ar medium». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать