Structural transformation of Si-rich SiNx film on Si via swift heavy ions irradiation

D. Murzalinov, A. Akilbekov, A. Dauletbekova, L. Vlasukova, M. Makhavikov, M. Zdorovets

Результат исследований: Вклад в журналСтатья

2 Цитирования (Scopus)
Язык оригиналаАнглийский
Номер статьи035035
Число страниц7
ЖурналMaterials Research Express
Том5
Номер выпуска3
DOI
СостояниеОпубликовано - мар 2018

Предметные области ASJC Scopus

  • Electronic, Optical and Magnetic Materials
  • Biomaterials
  • Surfaces, Coatings and Films
  • Polymers and Plastics
  • Metals and Alloys

Предметные области WoS

  • Материаловедение, Междисциплинарные труды

Цитировать