Structural transformation of Si-rich SiNx film on Si via swift heavy ions irradiation

D. Murzalinov, A. Akilbekov, A. Dauletbekova, L. Vlasukova, M. Makhavikov, M. Zdorovets

Результат исследований: Вклад в журналСтатья

2 Цитирования (Scopus)

Поиск результатов