Synthesis of Lithium Phosphorus Oxynitride (LiPON) Thin Films by Li3 PO4 Anodic Evaporation in Nitrogen Plasma of a Low-Pressure Arc Discharge

Nikolay Gavrilov, Alexander Kamenetskikh, Petr Tretnikov, Alexey Nikonov, Leonid Sinelnikov, Denis Butakov, Viktor Nikolkin, Andrey Chukin

Результат исследований: Вклад в журналСтатьярецензирование

Язык оригиналаАнглийский
Номер статьи40
Число страниц12
ЖурналMembranes
Том12
Номер выпуска1
DOI
СостояниеОпубликовано - янв 2022

Предметные области ASJC Scopus

  • Chemical Engineering (miscellaneous)
  • Process Chemistry and Technology
  • Filtration and Separation

Предметные области WoS

  • Биохимия и молекулярная биология
  • Химия, Физическая
  • Технологии, Химические
  • Материаловедение, Междисциплинарные труды
  • Наука о полимерах

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Synthesis of Lithium Phosphorus Oxynitride (LiPON) Thin Films by Li3 PO4 Anodic Evaporation in Nitrogen Plasma of a Low-Pressure Arc Discharge». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать