Язык оригинала | Английский |
---|---|
Страницы (с-по) | 287-292 |
Число страниц | 6 |
Журнал | Vacuum |
Том | 159 |
DOI | |
Состояние | Опубликовано - 1 янв 2019 |
Предметные области ASJC Scopus
- Instrumentation
- Condensed Matter Physics
- Surfaces, Coatings and Films
Предметные области WoS
- Материаловедение, Междисциплинарные труды
- Физика, Прикладная