ВЛИЯНИЕ УГЛОВОГО РАСПОЛОЖЕНИЯ ФОТОШАБЛОНА ПРИ СИНТЕЗЕ КРУГОВЫХ ОПТИЧЕСКИХ ШКАЛ НА ИХ УГЛОВЫЕ ПОГРЕШНОСТИ

科研成果: Article同行评审

摘要

Изучено влияние углового расположения фотошаблона при синтезе круговых оптических шкал, изготовленных с помощью этого фотошаблона способом обратной фотолитографии, на их накопленную угловую погрешность. С помощью фазо-статистического метода исследованы угловые погрешности круговых оптических шкал и определены погрешности, вносимые совместно генератором изображений и операцией экспонирования в угловые погрешности шкалы
源语言Russian
页(从-至)72-76
页数5
期刊Оптический журнал
82
6
Published - 2015

GRNTI

  • 29.31.00

Level of Research Output

  • VAK List

引用此