Обзор химических реакторов для получения нитрида алюминия субгалогенидным способом из газовой фазы

Роман Александрович Шишкин, Валерия Сергеевна Кудякова

科研成果: Article › 同行评审

指纹

探究 'Обзор химических реакторов для получения нитрида алюминия субгалогенидным способом из газовой фазы' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

Технические дисциплины и материаловедение